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王剑锋
作品数:
4
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供职机构:
中航工业北京航空制造工程研究所
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相关领域:
文化科学
金属学及工艺
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合作作者
孙刚
中航工业北京航空制造工程研究所
马贺
中航工业北京航空制造工程研究所
马国佳
中航工业北京航空制造工程研究所
武洪臣
中航工业北京航空制造工程研究所
刘星
中航工业北京航空制造工程研究所
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TA
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TAN
机构
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中航工业北京...
作者
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武洪臣
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马国佳
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王剑锋
4篇
马贺
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孙刚
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刘星
年份
1篇
2012
3篇
2011
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介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法
本发明属于等离子体技术领域,涉及对介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法的改进。其特征在于,利用离子注入及沉积设备在绝缘介质材料上沉积金属电极,制造的步骤如下:清洗绝缘介质材料;粘贴掩膜胶带;安装离子注入及沉积设备的溅...
马国佳
马贺
孙刚
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武洪臣
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介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法
本发明属于等离子体技术领域,涉及对介质阻挡放电等离子体发生器的电极制造方法的改进。其特征在于,利用离子注入及沉积设备在绝缘介质材料上沉积金属电极,制造的步骤如下:清洗绝缘介质材料;粘贴掩膜胶带;安装离子注入及沉积设备的溅...
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在金属零件表面制备高附着力Ta/TaN叠层薄膜的方法
本发明属于金属零件表面处理技术,涉及对金属零件表面Ta/TaN叠层薄膜制备方法的改进。其特征在于,利用交替离子注入及沉积方法制备Ta/TaN叠层薄膜,制备的步骤如下:对零件表面进行清洗;制备过渡层;沉积TaN;在TaN层...
马国佳
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马贺
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金属零件表面制备高附着力Ta和TaN叠层薄膜的方法
本发明属于金属零件表面处理技术,涉及对金属零件表面Ta/TaN叠层薄膜制备方法的改进。其特征在于,利用交替离子注入及沉积方法制备Ta/TaN叠层薄膜,制备的步骤如下:对零件表面进行清洗;制备过渡层;沉积TaN;在TaN层...
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