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张明生
作品数:
18
被引量:37
H指数:5
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
电气工程
理学
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合作作者
赵小林
上海交通大学微纳米科学技术研究...
蔡炳初
上海交通大学微纳米科学技术研究...
章吉良
上海交通大学微纳米科学技术研究...
周光亚
上海交通大学微纳米科学技术研究...
李文军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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傅立叶变换
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微机电系统
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微马达
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作者
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张明生
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赵小林
8篇
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章吉良
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周光亚
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3篇
余晋岳
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倪智平
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张宏
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朱军
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杨春生
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张琛
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3篇
磁性材料及器...
2篇
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1篇
功能材料
1篇
物理测试
1篇
第五届全国微...
年份
1篇
2002
1篇
2001
6篇
2000
5篇
1999
3篇
1998
1篇
1997
共
18
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微机械可调式光学衰减器的研制
本文研制了一种电磁驱动的微机械可调式光学衰减器.该衰减器是利用非硅表面微加工工艺制作的,这种工艺采用光致抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层,电镀铁镍层作为结构层来制作MEMS元件.这种衰减器由电镀铁镍层构成的一个插在两对准光纤...
赵小林
李文军
周光亚
张明生
蔡炳初
关键词:
微光机电系统
电磁驱动
文献传递
用磁性液体显示和观察微型磁性薄膜元件中的微磁结构的方法与实践
被引量:1
1998年
对微型磁性薄膜元件中微磁结构和微磁过程的观察和分析是它的设计和应用的基础。本文介绍了用磁性液体显示微型磁性薄膜元件中磁畴结构的方法,并应用该方法观察和分析了微型条件元件和磁阻(MP)传感元件中的磁化和反磁化过程。
余晋岳
张明生
周狄
章吉良
张宏
魏福林
关键词:
磁性液体
自由空间微光学元件的研制
被引量:4
1999年
介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学平台( F S M O B)的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅( Si O2)作光学材料、光刻胶和溅射铜( Cu)薄膜作牺牲层、电镀铁镍( Fe Ni)作支撑结构的制作自由空间微光学元件的新工艺。研制成功了多种与基底相垂直的三维位相型微光学元件。
周光亚
赵小林
张明生
陈益新
王宗光
关键词:
微机械
微细加工
微光学
二元光学
微光机电系统
微型NiFe磁阻(MR)薄膜传感元件在反磁化过程中的钩形畴活动
1999年
从NiFe磁阻(Magneto-Resistive)薄膜传感元件的实际结构出发,全面观察和分析了它在难轴方向反磁化过程中磁畴结构的转变过程发现,由于实际元件是不规则形状的,特别是由于引线形状各向异性的影响,即使在传感器形状比(aspectratio)大于50:1时,传感器中仍然不是单畴的。实验中具体观察了从引线衍生到传感器有效区域的钩形畴活动和它的不可逆转变,说明它是产生Barkhausen跳跃的一个潜在的物理原因。这是过去文献中所未曾充分注意和研究过的。
余晋岳
蔡炳初
张明生
章吉良
赵小林
周狄
魏福林
关键词:
传感元件
反磁化
磁畴
用快速傅立叶变换(FFT)求解磁性薄膜的退磁场
被引量:2
1998年
详细阐述了用快速傅立时变换法求解磁性薄膜的退磁场的原理,具体计算了实例,并与磁偶极子法作了比较。
张明生
蔡炳初
赵小林
章吉良
关键词:
快速傅立叶变换
磁性薄膜
磁学
电磁驱动可调式MEMS光衰减器的光学性能分析
设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗和光衰减量进行了分析.
李文军
赵小林
周光亚
张明生
蔡炳初
关键词:
微机电系统
电磁驱动
插入损耗
MEMS
光学性能
光衰减器
文献传递
基于硅片的SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟
被引量:2
1999年
建立了SMA 薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA 薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA 薄膜/ 基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多。该模型对于实际应用SMA 薄膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义。
王莉
蔡炳初
张明生
徐东
关键词:
微驱动器
硅基片
微机电系统
直径1mm电磁型双定子微马达的结构特点及稀土永磁在其中的应用
被引量:6
2000年
上海交通大学在研制成 2mm电磁型微马达后,又在1999年成功地研制了 1mm电磁型双定子微马达。本文介绍了 1mm微马达的结构特点,对它的稀土永磁转子及 气隙磁场进行了分析讨论,还介绍了它的应用发展。
余晋岳
张琛
杨春生
朱军
钱建国
张明生
周狄
俞爱斌
魏福林
关键词:
电磁型微马达
永磁转子
定子
稀土永磁
嵌入式电磁型微电机定子绕组的研制
被引量:7
1999年
阐述了采用NiFe 合金作为微电机定子绕组的铁芯材料,完成了电磁型微电机从非嵌入式向常规的嵌入式定子绕组的转变,无论是从定性分析还是从最后的测量结果都证明在相同的条件下,嵌入式电磁型微电机定子绕组的输出力矩要大大高于非嵌入式定子绕组的输出力矩,由原来的1-5μNm 提高到4μNm 。
赵小林
丁桂甫
张明生
倪智平
毛海平
关键词:
嵌入式
绕组
微电机
定子
电磁型
微磁执行器及其在微光机电系统中的应用
首先建立了基于快速傅立叶变换的永磁薄板的退磁场分析方法,可以通过一对正逆傅立叶变换和一次空间滤波求得一定平面上的退磁场.此算法是该文分析电磁型微执行器的基础.该文还给出了这种算法在永磁轴承和永磁传动中应用,可以通过一对正...
张明生
关键词:
微光机电系统
微马达
傅立叶变换
永磁轴承
光衰减器
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