郭述文
- 作品数：15 被引量：25H指数：3
- 供职机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信交通运输工程文化科学更多>>
- MEA优化的BPNN MEMS加速度计温度补偿系统被引量：2
- 2018年
- 在充分研究单轴硅微扭摆式电容加速度计结构原理和温度特性的基础上,利用思维进化算法(MEA)优化反向传播神经网络(BPNN)参数构建微机电系统(MEMS)加速度计的温度补偿模型,通过温度实验,计算出温度模型参数,进而实现实时温度补偿。实验结果表明:使用MEA优化的BPNN算法补偿后加速度计的非线性由1 576×10-6减小为266×10-6,标度因数温度系数由438×10-6/℃减小为78×10-6/℃,全温零偏极差由58.8 mgn减小为2.7 mgn,加速度计的温度特性大幅提高,证明所提温度补偿算法的有效性。
- 庞作超徐大诚郭述文
- 关键词：思维进化算法反向传播神经网络
- 硅微电容式加速度计热致封装效应的层合分析被引量：1
- 2015年
- 由封装结构热失配引入的应力和结构变形会对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应。为描述该效应,一种基于缩减刚度矩阵的层合板模型被用来对硅微电容式加速度计的封装进行了建模。利用经典层合理论,由计算封装热失配引入的应变和曲率得到敏感检测电容的温度特性,以此作为热致封装效应的评估。并结合有限元模拟(FEM)对该理论模型进行了对比和验证。结果表明,层合模型能较好地描述硅微加速度计的热致封装效应,并在此基础上分析了优化措施。
- 周铭徐大诚郭述文
- 关键词：MEMS硅微加速度计层合板
- 单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪
- 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元...
- 郭述文周铭樊波
- 文献传递
- 一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法被引量：1
- 2013年
- 电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定。实验结果表明:通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79%。
- 耿赛柳徐大诚郭述文
- 关键词：电容式微加速度计标度因数
- 一种基于硅硅键合的隔离封装应力的压力传感器
- 本发明公开了一种基于硅硅键合的隔离封装应力的压力传感器，包括芯片层和支撑层，所述支撑层表面刻蚀出一块用于硅硅键合的凸块，所述支撑层的其他区域与芯片层之间有间隙。这种结构可以避免过多的考虑材料的选择（如低应力的封装衬底和低...
- 郭述文周铭
- 具有频差调节结构的中心轴对称谐振陀螺仪
- 本发明公开了一种具有频差调节结构的中心轴对称谐振陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括谐振环及该谐振环对应的电极，所述谐振环与该谐振环对应的电极间设置有频差调节结构，所述频差调节结构包括在...
- 郭述文胡文艳
- 一种硅压阻式压力传感器温度补偿算法及软件实现被引量：8
- 2013年
- 硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一,如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法,并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法,并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算,进而实现传感器输出的动态温补,达到了很好的输出线性性。实验结果表明,补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5%F.S。
- 刘永涛徐大诚郭述文
- 关键词：硅压阻式压力传感器温度补偿算法
- 微机械轮式角振动陀螺气体阻尼特性研究被引量：2
- 2017年
- 轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型。利用有限差分算法求解极坐标系下雷诺方程,建立了敏感模态压膜阻尼简化分析模型。在5 Pa到10~5Pa压强范围内,进行了简化分析模型计算,同时对计算结果进行了与ANSYS仿真结果的比对。理论模型计算与仿真结果表明,敏感模态压膜阻尼是轮式角振动陀螺气体阻尼的主要产生机制。进而,从结构设计和控制电路的角度,给出了减小气体阻尼效应的有效方法。
- 陈奥运凤瑞庄须叶徐大诚郭述文
- 关键词：品质因数
- 单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪
- 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元...
- 郭述文周铭樊波
- 一种基于硅硅键合的隔离封装应力的压力传感器
- 本发明公开了一种基于硅硅键合的隔离封装应力的压力传感器，包括芯片层和支撑层，所述支撑层表面刻蚀出一块用于硅硅键合的凸块，所述支撑层的其他区域与芯片层之间有间隙。这种结构可以避免过多的考虑材料的选择（如低应力的封装衬底和低...
- 郭述文周铭
- 文献传递
