罗蓉
- 作品数：24 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片
- 本发明涉及一种微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片。包括微槽，以及微槽背面由绝热槽隔开的恒温区，在微槽背面的电阻式微温度传感器，对称置于该温度传感器两侧的微加热器。在生物基因组研究、法医学、遗传分析、治疗效果评估和医...
- 李志信罗蓉王玮吕树海
- 文献传递
- 一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
- 介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片。与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点。设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性。
- 罗蓉徐爱东王玮吕苗
- 关键词：MEMS微通道
- 文献传递
- 玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法
- 本发明公开了一种玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它采用双面光刻、深反应离子刻蚀和硅－玻璃键合技术工艺，在玻璃衬底上实现低应力、纵向尺寸大的可动悬空...
- 徐永青何洪涛罗蓉
- 文献传递
- 微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片
- 本发明涉及一种微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片。包括微槽，以及微槽背面由绝热槽隔开的恒温区，在微槽背面的电阻式微温度传感器，对称置于该温度传感器两侧的微加热器。在生物基因组研究、法医学、遗传分析、治疗效果评估和医...
- 李志信罗蓉王玮吕树海
- 文献传递
- 一种MEMS集成器件及其制备方法
- 本发明提供一种MEMS集成器件及其制备方法。该器件包括第一重布线层、MEMS层和专用集成电路层；晶圆级低温硅硅键合连接MEMS层与专用集成电路层；MEMS层设有填充铜的第一通孔和第二通孔，第一通孔贯穿MEMS层，第二通孔...
- 罗蓉杨拥军何洪涛徐淑静任臣
- 文献传递
- 基于薄层SOI材料的NEMS结构制备技术
- 2009年
- 提出一种基于薄层SOI材料的NEMS(nano-electro-mechanical-system)结构制备技术。通过大量实验研究,突破了电子束光刻、ICP刻蚀、CO2超临界干燥释放等工艺技术,可以在常规的薄层SOI材料上加工出任意复杂形状的NEMS结构。作为工艺验证器件,利用该技术在薄层SOI材料上成功实现了梳齿结构NEMS谐振器的样品制备。扫描电镜结果表明,谐振器厚度95nm,谐振梁宽度95nm,梳齿宽度128nm,梳齿间隙83nm,该加工技术可以实现结构完整、完全释放的NEMS结构。
- 罗蓉杨拥军王维军刘玉贵罗四维
- 关键词：SOI电子束光刻ICP
- 微机械检测结构及MEMS惯性测量器件
- 本发明提供了一种微机械检测结构及MEMS惯性测量器件，属于MEMS器件技术领域，包括中央锚点、连接梁、振动质量、固定电极和活动电极，中央锚点用于固设在衬底上，连接梁一端固连中央锚点，另一端向中央锚点的外侧伸出，振动质量呈...
- 张志勇杨拥军罗蓉
- 一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
- 本文介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
- 罗蓉徐爱东王玮吕苗
- 关键词：MEMS聚合酶链反应微通道
- 文献传递
- MEMS器件圆片级真空封装方法
- 本发明公开了一种MEMS器件圆片级真空封装方法，该方法采用金硅共晶键合技术实现封装盖板与MEMS器件的封装，具体包括以下步骤：1)双面抛光封装盖板；2)封装盖板双面淀积绝缘介质；3)在封装盖板上制备金硅键合用金属薄膜；4...
- 徐永青杨拥军胥超罗蓉
- 一种集成式硅MEMS振动陀螺仪被引量：2
- 2013年
- 介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪。首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理;在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果;加工工艺采用圆片级真空封装SOI工艺,介绍了工艺流程;检测电路采用数字化ASIC电路,给出了电路原理框图;采用LCC30陶瓷外壳实现了陀螺的集成封装。最后介绍了陀螺的研制结果和典型参数,陀螺量程达到±500°/s,零偏稳定性和重复性达到5°/h,标度因数非线性为1.5×10-4,重复性为5×10-5,重量仅为1.85 g,功耗为0.125 W,可满足大部分工程应用要求。
- 李博杨拥军徐永青徐淑静胥超何洪涛罗蓉卢新艳
- 关键词：陀螺仪SOI工艺集成封装
