您的位置： 专家智库 > >

马新龙

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电容检测
  • 2篇伺服电路
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械加速度...
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇惯性仪表
  • 2篇闭环
  • 2篇闭环反馈

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇曹志锦
  • 2篇张嵘
  • 2篇马新龙
  • 2篇赵长德
  • 2篇袁光
  • 2篇董景新
  • 2篇王永梁
  • 2篇高钟毓

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
梳齿式体硅加工微机械加速度计
一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结...
高钟毓王永梁董景新张嵘赵长德曹志锦袁光马新龙
文献传递
梳齿式体硅加工微机械加速度计
一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域,其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片,电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结...
高钟毓王永梁董景新张嵘赵长德曹志锦袁光马新龙
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0