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陈树光

作品数:8 被引量:16H指数:2
供职机构:中山大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信机械工程文化科学更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇离子注入
  • 2篇金刚石
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇光谱
  • 2篇防霉
  • 2篇刚石
  • 2篇BF
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇圆偏振
  • 1篇射线衍射
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电晶体
  • 1篇退火
  • 1篇退火效应
  • 1篇偏振
  • 1篇偏振状态
  • 1篇椭偏仪
  • 1篇椭圆偏振
  • 1篇耐磨

机构

  • 8篇中山大学
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇广东工学院

作者

  • 8篇陈树光
  • 3篇徐运海
  • 2篇莫党
  • 2篇郭扬铭
  • 2篇朱文玉
  • 2篇朱小兵
  • 1篇林成鲁
  • 1篇江任荣
  • 1篇陈弟虎

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇物理学报
  • 1篇半导体杂志
  • 1篇中山大学学报...
  • 1篇首届中国功能...
  • 1篇第四届全国固...

年份

  • 2篇1994
  • 2篇1993
  • 2篇1992
  • 1篇1989
  • 1篇1983
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
椭偏光法研究晶体各向异性光学性质——对KNSBN铁电晶体的应用被引量:9
1989年
本文分析了椭偏光法测量各向异性晶体时入射角和起偏角对测量灵敏度的影响,着重讨论了如何选择合适的实验条件以测量低度各向异性(|n_o—n_e|<0.1)晶体的光学性质。利用单波长椭偏仪和多波长椭偏谱仪测量了方解石和KNSBN铁电晶体样品,得到各向异性折射率和消光系数值,与文献有关结果作了比较。对于|n_o—n_e|<0.1的KNSBN铁电晶体,获得了可靠的结果。
胡其宏陈树光莫党
关键词:晶体各向异性光学性质
BF_2^+注入硅分子效应的椭偏谱多层分析
1993年
把离子注入层设想成由50多层的微分薄层构成,用以研究BF_2^+的分子效应。我们在1.6—5.0eV光子能量范围内,测量了不同剂量也(3×10^(13)-5×10^(15)ion/cm^2),147keV BF_2^+分子离子77K注入硅以及相应的B^+、F^+注入硅样品的椭偏谱。由实验测得的离子注入样品的椭偏光谱、多层薄膜光学模型、有效介质近似理论(EMA)和计算软件,可分析离子注入硅的损伤分布、表面自然氧化物的非均匀性和界面组份。其分析结果与背散射沟道技术和透射电子显微镜的测定结果相一致。研究中发现,低温BF^2^+注入的损伤层和非晶层都首先在样品表面形成,与B^+、F^+注入损伤相比,BF_2^+注入存在显著的分子效应。
朱文玉李晓勤林成鲁陈树光徐运海
关键词:离子注入光谱
TPP-1型椭圆偏振光谱仪被引量:7
1983年
一、前言椭圆偏振光谱仪是一种研究和测定薄膜、表面及固体的光学仪器。它是通过分析光在样品上反射时偏振状态的变化进行测量的,这种测量对表面结构和表面过程非常敏感。
江任荣陈树光叶贤京莫党
关键词:椭圆偏振偏振状态椭偏仪波长范围
金刚石薄膜的制备和结构分析
1992年
金刚石薄膜的制备与热丝温度、衬底温度、工作室压强及反应气体浓度有关,氢原子具有抑制石墨生长的作用,衬底的表面处理对金刚石薄膜的生长有很大影响。本文还试图用晶体生长和相变理论解释金刚石薄膜的生长过程。
郭扬铭陈树光张凯明
关键词:金刚石薄膜X射线衍射
用作磁记录介质防护膜的类金刚石薄膜性质的研究
陈树光朱小兵
关键词:金刚石防护膜磁记录材料
防霉磁盘及其制备方法
本发明涉及计算机使用的防霉磁盘及其制备方法。目前国内外生产的磁盘缺少防霉功能,一旦发霉,磁盘中储存的信息会受到破坏。本发明采用射频等离子体增强化学气相沉积法在普通磁盘上生长一层类金刚石碳膜,不但具有很好的防霉作用,对磁盘...
陈树光陈弟虎郭扬铭徐运海朱小兵
文献传递
计算机软磁盘的防霉研究
1引言当前计算机软磁盘的使用已越来越普及,我国每年消费量达几千万片,在高温、潮湿的环境中,磁盘极易发霉,这不仅使磁盘中贮存的珍贵信息丢失,而且极易造成驱动器磁头缝隙堵塞,影响驱动器的正常使用。磁盘发霉的原因主要是磁层中存...
陈树光陈弟虎郭扬铭徐运海朱小兵
文献传递
BF^+2注入硅的损伤和退火
1994年
本文用椭圆偏振光谱法研究了低温(77K)、中等能量(147keV)、剂量分别为3×1013及4×1013ions/cm2的BF2+分子离子注人Si的损伤及退火效应.根据样品椭圆偏振参数与C-Si的比较确定退火后晶格恢复的程度.结果表明,椭偏测量是研究分子离子注入Si的有用工具;BF注入硅样品的退火转变温度在500℃以下;并获得在某些实验条件下的最佳退火温度和最佳退火时间。
陈树光徐运海朱文玉
关键词:离子注入退火效应
共1页<1>
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