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李秋芳

作品数:9 被引量:11H指数:2
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电气工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电气工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 6篇电池
  • 6篇太阳能电池
  • 6篇溅射
  • 6篇磁控
  • 6篇磁控溅射
  • 5篇CIGS
  • 4篇太阳能
  • 2篇铜铟镓硒
  • 2篇铜铟镓硒薄膜...
  • 2篇气体保护
  • 2篇镓合金
  • 2篇光电产业
  • 2篇合金
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体产业
  • 2篇薄膜太阳能电...
  • 1篇氧流量
  • 1篇热处理温度
  • 1篇硒元素
  • 1篇锡酸锌

机构

  • 9篇清华大学

作者

  • 9篇李秋芳
  • 8篇庄大明
  • 8篇张弓
  • 6篇郑麒麟
  • 2篇向华
  • 1篇李春雷
  • 1篇宋军
  • 1篇杨波

传媒

  • 3篇真空科学与技...
  • 1篇太阳能学报
  • 1篇全国薄膜技术...
  • 1篇TFC’05...

年份

  • 2篇2008
  • 1篇2007
  • 4篇2006
  • 2篇2005
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶及其制备方法
用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶及其制备方法,涉及光电产业及半导体产业所需的金属溅射靶材及其制备。其是将铜、镓单质金属混合,在气体保护下或真空中,熔炼后浇注,同时急冷成型;所形成的合金溅射靶材,镓的原子百分比含量为...
庄大明张弓郑麒麟李秋芳向华
文献传递
硒元素在铜铟及铜铟镓薄膜中扩散过程的研究
李秋芳
关键词:CIGS薄膜磁控溅射
前驱膜中Ga含量对CIGS吸收层性能的影响
采用中频交流磁控溅射方法制备了CuInGa(CIG)前驱膜,并采用固态硒化法进行处理,获得了Cu(In1-xGax)Se2 (CIGS)吸收层薄膜。采用扫描电子显微镜和X射线衍射观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌...
郑麒麟庄大明张弓李秋芳
关键词:太阳能电池磁控溅射
文献传递
前驱膜中Ga含量对CIGS吸收层性能的影响
随着石油、天然气、煤等化石燃料的供应日益紧缺及其使用引发的环境问题日益严重,当前科学工作者乃至各国政府都感受到了开发清洁的可再生能源的迫切性。Cu(InGa)Se(CIGS)太阳能电池由于其转化率高、性能稳定、抗辐射能力...
郑麒麟李秋芳庄大明张弓
文献传递
溅射功率对CIGS吸收层前驱膜成分和结构的影响被引量:5
2006年
采用中频交流磁控溅射方法制备了CuIn、CuGa和CIG合金膜。采用SEM和XRD观察和分析了各种薄膜的表面形貌、成分和组织结构。着重分析了靶功率密度对薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明,通过调节靶功率密度,能精确控制薄膜中CuI、n、Ga比例。制备得到了Cu/(In+Ga)原子比接近1,且Ga/(In+Ga)比例可调的成分分布均匀的CIG薄膜。CIG前驱膜是以Cu11In9为基础相,Ga原子主要是以替代In原子的固溶体形式存在。当溅射CuIn和CuGa合金靶的功率密度分别为0.26和0.10 W/cm2时,可制备得到由Cu11In9和CuIn两相组成的理想的CIG前驱膜。
郑麒麟庄大明张弓李秋芳
关键词:CIGS太阳能电池磁控溅射
前驱膜中Ga含量对CIGS吸收层性能的影响被引量:1
2006年
采用中频交流磁控溅射方法制备了CuInGa(CIG)前驱膜,并采用固态硒化法进行处理,获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜.采用扫描电子显微镜和X射线衍射观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌.着重分析了CIG前驱膜中的Ga含量对CIGS吸收层薄膜成分、晶体结构的影响.结果表明,通过调节CIG前驱膜的Ga含量可制备得到Cu/(In+Ga)原子比接近1,且Ga/(In+Ga)比例可调的成分分布均匀的CIGS薄膜.CIGS薄膜由Cu(In1-xGax)Se2固溶体相组成,Ga主要是以替代In的固溶形式存在.在CuIn和CuGa合金靶的功率密度分别为0.24和0.30W/cm2条件下制备的CIG前驱膜经固态硒化处理可获得Ga/(In+Ga)比高达0.270:1的CIGS薄膜.
郑麒麟庄大明张弓李秋芳
关键词:太阳能电池磁控溅射
氧流量和热处理温度对锡酸锌薄膜结构的影响
2005年
本文采用锌锡质量比为52:48的Zn-Sn合金靶,利用中频交流反应磁控溅射方法,制备了锡酸锌(Zn2SnO4)晶体薄膜.考察比较了氧流量和热处理温度对锌锡合金氧化物薄膜晶体结构的影响,确定了制备晶态Zn2SnO4薄膜的合适氧流量和热处理温度.通过XRD分析了薄膜的晶体结构和组成.结果表明:室温条件下制备的沉积态锌锡合金氧化物薄膜,均呈非晶态结构;在基底温度为室温,氧流量达到60sccm以上条件下制备锌锡氧化物薄膜进行热处理,热处理温度在高于550℃,薄膜中开始出现Zn2SnO4晶体结构,随着热处理温度升高,薄膜中晶态结构大量增加;在氧流量(60~70) sccm、热处理温度650 ℃条件下,形成完全结晶态Zn2SnO4薄膜.
杨波张弓庄大明李秋芳
关键词:锡酸锌磁控溅射氧流量
用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶的制备方法
用干铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶的制备方法,涉及光电产业及半导体产业所需的金属溅射靶材及其制备。其是将铜、镓单质金属混合,在气体保护下或真空中,熔炼后浇注,同时急冷成型;所形成的合金溅射靶材,镓的原子百分比含量为2...
庄大明张弓郑麒麟李秋芳向华
文献传递
CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响被引量:5
2008年
采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜。采用固态法硒化,获得了CIGS吸收层。采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌。着重分析不同叠层方式的CIG前驱膜对CIGS吸收层薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明,三种叠层方式的前驱膜都可以获得成分均匀、结构一致的CIGS吸收层薄膜。Ga可以有效抑制In2Se挥发相生成,保持成分的稳定性。以CuGa(top)/CuIn(bottom)形式的前驱膜有利于形成紧密晶粒排列的CIGS。
李秋芳庄大明张弓宋军李春雷
关键词:太阳能电池CIGS磁控溅射
共1页<1>
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