黄惠杰
- 作品数：491 被引量：654H指数：16
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 长导轨直线度测量装置
- 一种长导轨直线度测量装置，包括测量头、角锥镜装置和计算机；测量头包括激光器，依次排列在激光器出射光路上的第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和窗口玻璃，位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、...
- 杨宝喜李璟胡小邦侯莉颖黄立华黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
- 杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
- 一种免疫层析多重检测试纸盘及免疫层析多重检测方法
- 本发明提供一种免疫层析多重检测试纸盘，包括一试纸盘底壳、一可与试纸盘底壳盖合的试纸盘上盖、以及一置于试纸盘底壳上的试纸条与试纸盘上盖之间的引流片，所述试纸盘上盖设加样孔，且加样孔正对引流片，所述加样孔连通一设于上盖内面由...
- 周蕾杜宗敏杨瑞馥黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究被引量：7
- 2018年
- 提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.2%;当校正手指的前端有倒斜角且双层错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.16%,比常规手指阵列式均匀性校正器的校正精度提高约一倍。
- 程伟林张方张方林栋梁杨宝喜曾爱军
- 关键词：光刻机照明系统
- 一种光角度感应的光电探测器
- 本发明涉及一种光角度感应的光电探测器，包括基底、4个电极和半导体纳米块，N个半导体纳米块以10‑50纳米的间距水平排列在基底上，构成一列半导体纳米块，N为奇数，两列半导体纳米以100‑500纳米的间距平行排列在基底上。该...
- 曾爱军张冲胡敬佩周如意黄惠杰
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- 针织机织针在线检测装置及检测方法
- 一种针织机织针在线检测装置及其检测方法。该装置由光电传感单元、调制解调单元、比较器、微机控制单元和位置传感器组成。本发明不仅能够准确检测到损坏的织针，包括断针、歪针，而且能够对织针编码并定位损坏的织针的相对位置，以方便操...
- 廖小情刘鹭朱永康赵永凯黄立华郭凯黄惠杰
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- 扫描型哈特曼检测装置研究被引量：10
- 2005年
- 在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量。该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,在水平和垂直两个径向上开有等间距排列且相互错开半个间距的小孔,并且在步进电机的驱动下绕光轴旋转,可对被检聚焦镜进行全口径连续采样。对有效口径为154 mm的斐索平面干涉仪非球面准直物镜的球差及焦斑能量集中度进行了测量,进而由球差计算得到了波像差,并用干涉法对该准直物镜进行了测量。球差的理论值与测量值最大偏差为14.6%;由新装置测量并计算得到的波像差PV值与干涉法测量并计算得到的PV值偏差为11.5%;实测的80%的能量集中在34μm的范围内,而计算得到的80%的能量集中在28μm之内,最后对结果进行了分析并提出了进一步改进的意见。
- 刘丹闫岩任冰强赵永凯黄立华黄惠杰王向朝
- 关键词：光学检测球差波像差
- 基于本征荧光测量的双通道生物气溶胶检测技术研究被引量：13
- 2013年
- 近年来,大气生物气溶胶的实时监测技术已经成为研究领域的热点。在已有技术的基础上,研发出了含有280nm和365nm两种激发光波长的双通道生物气溶胶检测系统。利用该检测系统,分别测量了色氨酸、烟酰胺腺嘌呤二核苷酸(NADH)的荧光光谱和强度,确定了对该系统两个通道进行标定的方法,并结合对牛血清蛋白(BSA)以及易引起误判的香烟烟雾等物质的测量结果进行了分析与探讨。实验结果证明了通过多通道紫外光诱导生物气溶胶粒子产生本征荧光,并对荧光光谱与强度等信息进行分析可以较为准确地实现对粒子种类的预判别。这种技术具有较强的应用价值与发展空间。
- 徐傲熊超张佩廖小情杨巍赵永凯黄惠杰
- 关键词：光学测量双通道
- 大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法
- 一种大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法，检测装置包括激光器组件、探测器组件、扫描步进模块、定位模块、整机框架和整机控制系统。本发明能够对被测大尺寸钕玻璃片的四个包边界面的剩余反射率进行全覆盖扫描检测，检测...
- 张友宝黄惠杰曾爱军杨增辉张善华马兴华
- 衍射型环形照明发生器及其制备方法
- 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍...
- 朱菁杨宝喜曾爱军黄惠杰胡中华陈明肖艳芬
- 文献传递
