杨宝喜
- 作品数：93 被引量：146H指数：8
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目上海市科技人才计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
- 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像...
- 张方朱菁杨宝喜黄惠杰黄立华曾爱军胡小邦刘蕾张佩肖艳芬陈明
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- 基于受激光发射损耗的激光直写曝光装置
- 一种基于受激发射光损耗激光直写曝光装置，其特点在于其构成包括激发光源、退激发光源、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二分之一波片组、二向色镜、相位型波带片、振幅型波带片、高数值孔径消色差物镜和三维扫描平台。本发明可实现...
- 朱菁黄惠杰杨宝喜宋强张方王键陈明李璟
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- 用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统
- 一种用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统，包括脉冲激光器，特征在于其构成是：沿脉冲激光器的激光输出方向依次是第一分光镜、系统光路和第二分光镜，所述的第一分光镜和第二分光镜与光路成45°，在第一分光镜的反射光方向是能量监测...
- 陈明朱菁杨宝喜黄惠杰
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- 光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构
- 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明...
- 薛佩佩陈明杨宝喜任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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- 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计被引量：17
- 2015年
- 深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求,衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg-Saxton(GS)及其改进算法,一般只能通过降低均匀性来提高衍射效率,无法得到最优的解。而全局优化算法如模拟退火法、遗传基因法等需要大量的计算时间,难以实现像素数目多的深紫外DOE的设计。为了克服上述困难,提出了一种基于GS的混合梯度下降算法,在迭代过程中对每次迭代的振幅进行加权反馈修正,在加快收敛速度的同时,减少误差,同时实现高效率和高信噪比。利用该算法对光刻需要的传统、四极照明光瞳、定制照明光瞳的DOE进行了设计,结果表明,实现传统和四极照明光瞳的16阶量化相位DOE的衍射效率均超过92%,而非均匀性分别为3.98%和2.3%。实现定制照明光瞳的DOE的衍射效率为91%,图形恢复误差为5.8%。该方法为获得高性能深紫外DOE提供一条可行的途径。
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- 关键词：光学设计光学光刻部分相干光
- 均匀照明的微柱面镜阵列及其设计方法
- 一种用于紫外光刻机照明系统产生均匀照明的微柱面镜阵列及其设计方法，所述的微柱面镜阵列，包括母线方向分别沿Y和X方向的第一微柱面镜阵列和第二微柱面镜阵列，分别用于产生Y和X方向的均匀光强分布，所述的微柱面镜阵列的表面为凸柱...
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- 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法
- 一种透镜组镜面间距的测量装置和测量方法，装置包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一波分复用器、第二波分复用器、第三波分复用器、光纤耦合器、第一MEMS光开关、第二MEMS光开关、延迟扫描臂、可调焦准直器、四维...
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- 高精度的间隔测量装置
- 一种高精度的间隔测量装置，其特点在于：由基座、固定支架、调节杆、测量杆、2个定位螺母和2个锁紧螺母组成，本发明具有结构简单，操作方便，对环境的要求不高，可以实现高精度的测量。
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- 光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法被引量：12
- 2019年
- 针对光刻机照明系统的实际应用需求,提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布进行转换,可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数。以一种28 nm节点扫描光刻机照明系统的中继镜组为实例,对其在传统照明模式下进行光瞳特性参数计算分析。仿真结果显示,全视场光瞳椭圆度最大值为0.95%,X方向和Y方向光瞳极平衡性最大值分别为0.18%和0.19%,四象限光瞳极平衡性最大值为0.66%,均满足28 nm节点扫描光刻机实际指标需求。所提算法在光学设计阶段能快速评估光瞳性能。
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- 关键词：光刻光学设计
- 光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法
- 一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连...
- 张方朱菁黄惠杰宋强杨宝喜陈明曾爱军黄立华胡中华肖艳芬
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