李灿华
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 金刚石薄膜的生长与场发射性质研究
- 金刚石是一种集优异的力学、热学、光学、声学和电子学等性质于一体的特种功能材料.经过多年的努力,CVD金刚石薄膜的研究取得了可喜的成果,已经作为刀具涂层、热沉 材料、电子器件材料等在各个领域得到广泛的应用.但是,对于低金刚...
- 李灿华
- 关键词：金刚石薄膜
- 文献传递
- 氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究被引量：10
- 2000年
- 利用热丝化学气相沉积法研究了氮气浓度对金刚石薄膜成核和生长的影响 .实验发现氮气的加入对金刚石成核密度影响不大 ,但促进了已形成的金刚石核的长大 .适量的氮气不仅使金刚石生长速率得到很大的提高 ,而且稳定了金刚石薄膜 (10 0 )面的生长 ,使金刚石薄膜具有更好的 (10 0 )织构 .利用原位光发射谱对衬底附近的化学基团进行了研究 .研究表明 ,氮气的引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化 .含氮基团的萃取作用提高了金刚石表面氢原子的脱附速率 ,从而提高了金刚石膜的生长速率 .而含氮基团的选择吸附使金刚石(10 0 )取向变得化学糙化 (chemicalroughening) ,这种化学糙化使得 (10 0 )晶面生长速率大于其他晶面 ,最终使金刚石薄膜呈现 (10 0 )织构 .
- 李灿华廖源常超王冠中方容川
- 关键词：氮气金刚石薄膜织构成核
- 空间分辨光发射谱采集器
- 本发明涉及光谱采集应用技术。它包括共轴的物镜、出射透镜和滤波光阑构成的会聚透镜组及屏蔽镜筒，出射透镜后续光路上有3个放在不同支承板块上的反射镜，在第一和第二、第二和第三支承板块之间及第三板块和底座之间，分别设有使二者产生...
- 方容川叶祉渊薛剑耿王冠中崔景彪李灿华
- 文献传递
- 空间分辨光发射谱采集器
- 本发明涉及光谱采集应用技术。它包括共轴的物镜、出射透镜和滤波光阑构成的会聚透镜组及屏蔽镜筒,出射透镜后续光路上有3个放在不同支承板块上的反射镜,在第一和第二、第二和第三支承板块之间及第三板块和底座之间,分别设有使二者产生...
- 方容川叶祉渊薛剑耿王冠中崔景彪李灿华
- 文献传递
- 原位光发射谱研究横向偏压金刚石薄膜生长过程
- 2000年
- 利用热丝ＣＶＤ方法研究了横向偏压对金刚石薄膜成核和生长的影响．实验表明，随着偏流的增加，金刚石在光滑硅衬底上的成核密度得到显著提高，最高可达 １．１×１０８ｃｍ－２．，但是横向偏压不利于金刚石薄膜的生长．原位光发射谱研究发现，横向偏流的增加提高了原子氢和ＣＨ基团的浓度，导致衬底表面非晶碳层的形成，这可能是造成横向偏压促进金刚石成核却不利于金刚石薄膜生长的主要原因．
- 廖源尚乃贵李灿华王冠中马玉蓉方容川
- 关键词：金刚石薄膜
- 氮气氛下金刚石薄膜生长过程中的光发射谱研究被引量：4
- 2001年
- 利用原位光发射谱对衬底附近的化学气相性质进行了研究．研究表明，氮气的引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化．含氮基团的萃取作用提高了金刚石表面氢原子的脱附速率，从而提高了金刚石膜的生长速率．而含氮基团的选择吸附使金刚石（１００）取向变得化学糙化，这种化学糙化使得（１００）晶面生长速率远大于其它晶面，最终使金刚石薄膜呈现（１００）织构．还利用化学气相沉积方法研究了氮气浓度对金刚石生长的影响，结果与光发射谱分析是一致的．
- 李灿华廖源常超王冠中马玉蓉方容川
