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王建锋

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化硅薄膜
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元模拟
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束增强沉...
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇王建锋
  • 1篇蔡珣
  • 1篇周平南

传媒

  • 1篇理化检验（物...

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1995
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度被引量：2
1995年
利用测试负荷小于10_(-2)N的UMHT-3型超显微硬度测量仪,测试了不同厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细讨论了薄膜和基底对硬度测试的影响,并提出了临界负荷的概念。只有当测试负荷小于临界负荷时,才能获得薄膜的真实硬度。对三种不同厚度的氮化硅薄膜,给出了相应的临界负荷值。
周平南王建锋蔡珣
关键词：氮化硅
压入硬度试验的有限元模拟
王建锋
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共1页<1>
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