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苏子敏
作品数:
2
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供职机构:
中山大学
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合作作者
彭少麒
中山大学
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彭少麒
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苏子敏
年份
2篇
1989
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非晶硅光位置敏感器件
本发明属半导体非晶硅光位置敏感器件。它是利用非晶硅材料的单质结或异质结的横向光生伏特效应制成的可测量光点位置信息的新型器件。由于本光位置敏感器件制造工艺简单,输出光敏信号较大,对位置控制、目标跟踪及计算机方面的应用具有广...
苏子敏
彭少麒
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非晶硅光位置敏感器件
本发明属半导体非晶硅光位置敏感器件。它是利用非晶硅材料的单质结或异质结的横向光生伏特效应制成的可测量光点位置信息的新型器件。由于本光位置敏感器件制造工艺简单,输出光敏信号较大,对位置控制、目标跟踪及计算机方面的应用具有广...
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