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星期四
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宫泽祥
作品数:
20
被引量:31
H指数:3
供职机构:
大连理工大学
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国家自然科学基金
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北京市自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
电子电信
一般工业技术
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马腾才
大连理工大学材料科学与工程学院...
李国卿
大连理工大学材料科学与工程学院...
史维东
大连理工大学材料科学与工程学院...
龙振湖
大连理工大学材料科学与工程学院...
黑祖昆
大连海事大学
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20篇
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11篇
金属学及工艺
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电子电信
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一般工业技术
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理学
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主题
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离子注入
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离子束
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机构
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东北师范大学
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中国核工业集...
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俄罗斯科学院
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三束材料改性...
1篇
三束材料改性...
作者
20篇
宫泽祥
8篇
马腾才
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李国卿
4篇
史维东
3篇
金星
3篇
龙振湖
3篇
黑祖昆
3篇
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张庆瑜
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8篇
大连理工大学...
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电子显微学报
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真空
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微细加工技术
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原子核物理评...
年份
2篇
1999
1篇
1998
9篇
1997
3篇
1996
1篇
1995
2篇
1994
1篇
1993
1篇
1992
共
20
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多元离子束增强沉积在新型薄膜材料上的应用
被引量:1
1997年
采用N++Cr+多元离子束增强沉积合成(TiCr)N膜层,对膜层进行了AES、TEM和XRD分析.测试了膜基体系的力学性能和电化学性能.与普通物理气相沉积相比,多元离子束增强沉积显示了开发新型薄膜材料的较强潜力.
张涛
张通和
张荟星
马本坤
李国卿
宫泽祥
关键词:
离子束
离子束增强沉积
Mo离子注入Al_2O_3的表面改性
被引量:2
1995年
研究Mo离子注入Al_2O_3表面机械性能的变化及产生变化的原因,结果表明,Mo离子的注入,在Al_2O_3表面产生辐射损伤,使表面残余应力、表面硬度及断裂韧性提高;注入剂量D>1×10 ̄17cm ̄-2时,随着离子注入剂量增加,表层开始非晶化,导致表面残余应力及硬度下降,而断裂韧性仍继续得到改善。
柴志刚
崔相旭
张宁
刘玉梅
史维东
宫泽祥
关键词:
离子注入
表面改性
非晶化
三氧化二铝
钼
离子注入形成YSi_2埋层的电镜研究
1996年
本文主要采用离子注入的方法制备“Si/YSi_2/Si”异质结构,并以电子显微镜为手段研究YSi_2埋层的形成及YSi_2/Si界面的微观结构。我们发现YSi_2埋层以“[001]YSi_2//[111]Si”为取向关系在Si基体中择优生长,而且注入法合成的YSi_2不存在空位有序结构。
金星
宫泽祥
李晓娜
马腾才
杨大智
张泽
关键词:
离子注入
硅化物
埋层
电子显微镜
集成电路
铁离子注入单晶铜引发亚结构组态变化的研究
被引量:1
1997年
用加速电压50kV、剂量为4×1017/cm2的铁离子注入单晶铜中,利用透射电子显微镜弱束成像技术研究了被注入材料的横截面样品,发现离子辐照引发被注入材料亚结构变化的深度远大于离子本身注入的深度,铁离子注入单晶铜中位错密度随注入深度的变化有两个峰值出现.其亚结构为多种位错组成的复杂位错组态,这种亚结构会使被注入材料具有相当于加工硬化的效果.探讨了离子注入材料中由辐照引发的加工硬化现象,即所谓的“长程效应”
黄岩
黑祖昆
李国卿
宫泽祥
关键词:
铜
亚结构
位错
离子注入
铁离子
钨离子注入多晶不锈钢引发亚结构变化的研究
被引量:3
1997年
利用透射电子显微镜弱束成像技术研究了钨离子注入经1150℃固溶处理的奥氏体不锈钢(1Cr18Ni9Ti)的横截面样品,发现离子辐照引发被注入材料亚结构变化的深度远大于离子本身的注入深度,钨离子注入多晶奥氏体不锈钢中位错密度沿注入深度有一个峰值.位错密度峰值处的亚结构,在多个晶体学倒易矢量显现.其他区域位错显像有方向性;在最密排面上易于显像。
黄岩
黑祖昆
宫泽祥
李国卿
关键词:
离子注入
不锈钢
亚结构
位错
辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜
被引量:2
1997年
用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法,在304不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜.经XPS和IRS分析,确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构分析.划痕试验表明:这种方法制成的聚四氟乙烯膜与基材之间有较好的结合力.
李有宏
龙振湖
宫泽祥
任春生
关键词:
聚四氟乙烯
离子束溅射沉积
Mn^+注入GaAs中Ga-Mn二十面体准晶的形成
被引量:2
1997年
利用选区电子衍射及明暗场电子衍射成像技术,在Mn+注入GaAs及随后退火的样品表层发现有二十面体准晶颗粒形成.能谱及电子能量损失谱分析表明,这些粒子不含As,由Ga和Mn元素组成,约含50at%的Mn;其结构具有五次对称性和非周期分布的电子衍射斑点.这些具有2/m35对称性的GaMn准晶粒子同具有闪锌矿结构的GaAs基体之间具有确定的取向关系:i-5∥〔110〕GaAs;i-3∥〔111〕GaAs;i-2∥〔121〕GaAs.用磁力显微镜分析发现这些粒子中的许多粒子具有铁磁性.
孙凯
朱莎
郭可信
宫泽祥
关键词:
准晶体
砷化镓
锰离子
离子束混合法制备Sm-Fe-N磁性薄膜
被引量:5
1997年
利用离子束混合方法在Sm质量分数为20%的Sm-Fe多层薄膜中,当注入能量为60keV的N离子时,成功地制备出Sm-Fe-N磁性薄膜.经透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)分析发现:当N离子的注入剂量为1×1017/cm2时,形成Sm2Fe17Nx磁性薄膜;而N离子的注入剂量为2×1017/cm2时,Sm-Fe多层薄膜转变成非晶磁性薄膜,而且Sm2Fe17Nx磁性薄膜和Sm-Fe-N非晶磁性薄膜的磁性(饱和磁性强度。
孙树滋
王强
张兆安
宋根宗
徐送宁
马腾才
宫泽祥
关键词:
离子注入
磁性薄膜
永磁体
离子束合成TiSi_2薄膜及显微结构的研究
1996年
本文主要以电子显微镜为手段研究了离子注入形成的TiSi_2薄膜的微观结构,发现了一种新的TiSi_2相,初步确定它为简单正交结构,点阵常数与已知的C49-TiSi_2相等,并发现新的TiSi_2可向C49-TiSi_2转化;在800℃条件下保温30分钟,C54-TiSi_2可在Si(111)基片上外延生长,取向关系为:[121]_(TiSi)_2∥[110]_(Si),(111)_(TiSi)_2∥(111)_(Si)。
金星
宫泽祥
李晓娜
马腾才
杨大智
Mark Aindow
关键词:
离子注入
金属硅化物
电子显微学
钇离子注入对Co-40Cr(wt%)合金氧化行为的影响
被引量:7
1999年
研究了Co-40Cr(wt%)合金在空气中、1000℃下的恒温氧化和循环氧化行为。通过SEM/EDXA等测试手段,对合金表面形成的氧化膜进行了分析.并且,与合金表面离子注入3×1016Y+/cm2和3×1017Y+/cm2后的氧化行为进行了比较.结果表明,注钇和未注钇样品氧化后表面形成的都是纯Cr2O3膜,离子注钇明显改善了合金的氧化性能.其原因主要是稀土钇能以离子或细小氧化物颗粒的形式偏聚于Cr2O3晶界,通过阻碍氧化膜中Cr3+阳离子向外扩散,降低了氧化膜的生长速率.同时,通过阻碍氧化膜/合金界面附近"kirkendall"空洞的形成,增强了氧化膜与合金基体之间的结合强度,提高了氧化膜的粘附性及合金的抗氧化性能.
靳惠明
李铁藩
李美栓
沈嘉年
宫泽祥
张秀红
关键词:
氧化膜
离子注入
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