张东平
- 作品数：3 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 同步辐射X射线光刻技术被引量：3
- 2001年
- 同步辐射 X射线光刻 (SRXL)是本世纪超大规模集成电路 (VLSI)发展中最有希望的深亚微米图形加工技术 ,本文综述了 SRXL技术研究的现状及存在的问题 。
- 张东平乐德芬胡一贯
- 关键词：X射线光刻技术集成电路
- CVD金刚石薄膜的抗腐蚀性研究被引量：2
- 2001年
- 用微波等离子体化学气相沉积法在硅衬底上生长了金刚石薄膜 ;通过扫描电子显微镜和喇曼散射光谱对其性质进行了表征。将生成的样品分别放在氢氧化钾 ,四乙基氢氧化铵以及氢氟酸、硝酸和冰醋酸混合液中进行腐蚀研究 ,结果发现在氢氧化钾腐蚀液中 ,金刚石薄膜出现片状脱落现象 ,而在后两种腐蚀液中却表现出良好的抗腐蚀性。
- 张东平乐德芬胡一贯
- 关键词：化学气相沉积金刚石薄膜
- MPCVD金刚石的Raman光谱分析被引量：8
- 2002年
- 用微波等离子体化学气相淀积法 (MPCVD)在Si基片上生长了金刚石薄膜 ,通过对其进行Raman光谱分析 ,一次表征了金刚石的结构、纯度及应力状况等材料性能 ,同时并研究了生长过程中微波功率与金刚石性质的关系。研究表明 ,微波等离子体化学气相淀积法生长的金刚石薄膜 ,除了金刚石成分的生长外 ,还会有部分非金刚石成分的生长 ,金刚石的纯度与微波功率的关系不明显 ,另外此种方法生长的金刚石薄膜主要表现为张应力。
- 张东平乐德芬胡一贯
- 关键词：MPCVD金刚石RAMAN散射应力微波功率
