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张友宝
作品数:
28
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
上海市教育委员会创新基金
上海市自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄立华
中国科学院研究生院
谢承科
中国科学院研究生院
马兴华
中国科学院上海光学精密机械研究...
任冰强
中国科学院研究生院
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张友宝
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2007
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上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法
一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法,上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成,所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接...
谢承科
张友宝
周蕾
屈建峰
黄立华
郭小娴
黄惠杰
杨瑞馥
文献传递
用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置,由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成,四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连,四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上,相邻刀片组件的刀口相互垂直,四个刀口共面且与...
林栋梁
马兴华
任冰强
程伟林
张友宝
钱珍梅
屈建峰
孙征宇
黄惠杰
文献传递
基于相关检测的多探头光纤倏逝波生物检测仪
一种基于相关检测的多探头光纤倏逝波生物检测仪,包括光学系统、光电探测器、样品流路、数据采集与信号处理系统、一维扫描平台、步进电机和多根光纤,其特点是还包括:相关检测电路,控制样品池温度的温度控制系统,所述的数据采集与信号...
王建辉
张友宝
任冰强
黄惠杰
文献传递
一种光刻机照明控制测试系统及方法
本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法,控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块;测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理,并将处理结果传输给控制中心模块;根据性能测试与处...
张友宝
马兴华
胡小邦
谢承科
黄立华
侯莉颖
黄惠杰
高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法
一种高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法,该装置包括风管系统、气流转换装置、检测台、二维扫描机构、检测系统和控制系统。本发明的特点是能准确快速地定位漏点,并实时地以三维图形显示漏点分布,且符合标准要求。
张友宝
马兴华
黄惠杰
杨增辉
何广荣
文献传递
双通道实时生物气溶胶监测方法与装置
一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置,其特点在于该方法包括下列步骤:①大气气溶胶粒子富集;②双通道紫外光诱导荧光检测;③数据处理;④对粒子富集板进行表面清洁与再生;⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、...
黄惠杰
周光超
赵永凯
冯春霞
韩杰
黄立华
谢承科
孙征宇
张友宝
大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法
一种大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法,检测装置包括激光器组件、探测器组件、扫描步进模块、定位模块、整机框架和整机控制系统。本发明能够对被测大尺寸钕玻璃片的四个包边界面的剩余反射率进行全覆盖扫描检测,检测...
张友宝
黄惠杰
曾爱军
杨增辉
张善华
马兴华
文献传递
大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法
一种大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法,检测装置包括激光器组件、探测器组件、扫描步进模块、定位模块、整机框架和整机控制系统。本发明能够对被测大尺寸钕玻璃片的四个包边界面的剩余反射率进行全覆盖扫描检测,检测...
张友宝
黄惠杰
曾爱军
杨增辉
张善华
马兴华
高效过滤器多探头检漏装置
一种高效过滤器多探头检漏装置,包括上游采样探头、下游采样探头组、粒子计数器组、粒子计数器同步采集卡和工业控制计算机。该装置工作过程中,下游采样探头组由二维扫描机构驱动匀速在被测过滤器下游扫描,粒子计数器同步采集卡按预先设...
张友宝
马兴华
胡小邦
黄惠杰
杨增辉
邹加伟
何广荣
一种光刻机照明控制测试系统及方法
本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法,控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块;测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理,并将处理结果传输给控制中心模块;根据性能测试与处...
张友宝
马兴华
胡小邦
谢承科
黄立华
侯莉颖
黄惠杰
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