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郑良辰
作品数:
2
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供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曾庆平
电子科技大学
刘斌
电子科技大学
王微
电子科技大学
王向展
电子科技大学
罗谦
电子科技大学
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电子科技大学
作者
2篇
甘程
2篇
罗谦
2篇
王向展
2篇
王微
2篇
刘斌
2篇
曾庆平
2篇
郑良辰
年份
1篇
2014
1篇
2012
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一种具有高锗组分的锗硅沟道PMOS的制备方法
一种具有高锗组分的锗硅沟道的PMOS的制备方法,属于半导体器件领域,尤其涉及一种提高锗硅(SiGe)PMOS沟道中锗(Ge)组分的方法,来提高器件性能。它的特征是利用氮化硅(SiN)薄膜在硅(Si)中引入应变形成应变硅(...
王向展
王微
曾庆平
罗谦
郑良辰
刘斌
甘程
一种具有高锗组分的锗硅沟道PMOS的制备方法
一种具有高锗组分的锗硅沟道的PMOS的制备方法,属于半导体器件领域,尤其涉及一种提高锗硅(SiGe)PMOS沟道中锗(Ge)组分的方法,来提高器件性能。它的特征是利用氮化硅(SiN)层在硅(Si)中引入应变形成应变硅(S...
王向展
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郑良辰
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