张国先
- 作品数：13 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构...
- 唐锋王向朝张国先万修龙
- 文献传递
- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
- 李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
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- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
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- 双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究被引量：5
- 2021年
- 提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差。分别搭建了双孔点衍射干涉和双光纤点衍射干涉的实验装置,完成了对设计波像差小于0.045λ RMS,5×透射式投影物镜的检测实验。实验结果表明,与双光纤点衍射干涉仪对比,双孔点衍射的波像差测量相对误差为0.07 nm RMS,且干涉图具有更加良好的光强均匀性。验证了本文检测技术的有效性。
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- 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法
- 一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
- 唐锋卢云君郭福东王向朝张国先
- 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构...
- 唐锋王向朝张国先万修龙
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- 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法
- 一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件；所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上，待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心；通过波面...
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- 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、...
- 王向朝唐锋张国先徐世福
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- 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
- 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、...
- 王向朝唐锋张国先徐世福
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- 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法
- 一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
- 唐锋卢云君郭福东王向朝张国先
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