您的位置： 专家智库 > >

沈朝阳

作品数：16 被引量：1H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 10篇加速度
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 5篇石英
  • 5篇速度传感器
  • 5篇加速度传感器
  • 5篇加速度计
  • 5篇封装
  • 4篇压阻
  • 4篇压阻式
  • 4篇易加工
  • 4篇真空封装
  • 4篇振梁加速度计
  • 4篇极板
  • 4篇键合
  • 3篇电极
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇熔石英

机构

  • 16篇中国工程物理...

作者

  • 16篇沈朝阳
  • 10篇熊壮
  • 10篇王旭光
  • 10篇张照云
  • 8篇赵宝林
  • 6篇刘显学
  • 6篇唐彬
  • 5篇屈明山
  • 4篇姚明秋
  • 4篇彭勃
  • 4篇苏伟
  • 4篇许蔚
  • 4篇杨杰
  • 3篇席仕伟
  • 3篇李玉萍
  • 3篇谭刚
  • 3篇程永生
  • 2篇陶逢刚
  • 2篇李枚
  • 1篇谢国芬

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 5篇2024
  • 4篇2023
  • 3篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 16 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一体式石英双振梁加速度计
本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列设置，...
张照云刘显学李枚屈明山沈朝阳许蔚彭勃熊壮苏伟
文献传递
一体式石英双振梁加速度计及制备方法
本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...
张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤：根据悬臂梁‑质量块结构的图形，采用超快激光切割加工熔石英基片，在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道；清洗熔...
张照云沈朝阳王颉熊壮赵宝林刘振华王旭光屈明山郭建宏魏云川
一种压阻式压力传感器及其制备方法
本发明属于微电子机械系统领域，提供一种压阻式压力传感器及其制备方法。传感器采用5层SOI硅片100和普通硅片200制成。制备方法包括步骤：S02：在5层SOI硅片的第一结构层上刻蚀形成岛状结构；S02：使普通硅片的上下表...
张照云刘显学 谢晋杨杰赵宝林熊壮 李严军沈朝阳 刘振华屈明山 王颉王旭光
一体式石英双振梁加速度计及制备方法
本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...
张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
文献传递
一种压阻式加速度传感器
本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器，其包括敏感芯片、基板、基座和基板安装座。其中，基座具有安装侧和与安装侧相对的连接侧，基座具有内腔，内腔自连接侧的端面向内延伸。基板安装座包括安装座本体和连...
陶逢刚赵宝林刘振华魏云川沈朝阳王颉刘天国
一种全金属电容极板微加速度传感器
本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏...
唐彬席仕伟姚明秋程永生李玉萍王旭光沈朝阳谭刚
文献传递
一体式石英双振梁加速度计
本实用新型的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁...
张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
文献传递
一种石英摆片结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，公开了一种石英摆片结构及其加工方法。该石英摆片结构包括悬臂梁、质量块、边框以及多个凸台。加工方法包括以下步骤：先湿法刻蚀多个凸台以外的区域的熔石英基片形成多个凸台；其次，根据石英摆...
张照云赵宝林李枚王支荣熊壮王颉沈朝阳刘振华王旭光郭建宏魏云川
一种全金属电容极板微加速度传感器
本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏...
唐彬席仕伟姚明秋程永生李玉萍王旭光沈朝阳谭刚
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0