赵宝林
- 作品数：34 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>
- 针对品质因子变化的微陀螺仪正交误差抑制
- 2024年
- MEMS陀螺仪的正交误差会对最终角速度输出的零位偏置与零偏稳定性产生影响。文章首先对测试使用的双质量块音叉陀螺结构进行介绍,并利用等效模型计算分析了正交误差对输出的影响;其次,文章分析了气压变化对陀螺仪品质因子的影响,并提出正交误差抑制优化方案,设计了测试电路;接下来,利用优化后的正交误差抑制方案,对不同品质因子的情况进行了仿真测试,验证了该方案的可行性;最后利用测控电路,并对陀螺仪表芯进行测试,使用优化方案后,陀螺仪零偏稳定性仅为不使用情况下的10%,验证了使用该优化方案可提高陀螺仪性能。
- 钟鸣宇周浩熊壮施志贵赵宝林
- 关键词：MEMS品质因子
- 一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统
- 本发明公开了一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统。该方法包括：采用虚拟激励法对目标陀螺仪、参考陀螺仪的刻度因子进行校准，得到校准后的目标陀螺仪和参考陀螺仪；获取校准后的目标陀螺仪处于正常工作状态时和处于模态反转态时输出...
- 赵宝林顾昊宇苏伟周浩刘显学唐彬
- 文献传递
- 一种石英摆片结构及其加工方法
- 本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，公开了一种石英摆片结构及其加工方法。该石英摆片结构包括悬臂梁、质量块、边框以及多个凸台。加工方法包括以下步骤：先湿法刻蚀多个凸台以外的区域的熔石英基片形成多个凸台；其次，根据石英摆...
- 张照云赵宝林李枚王支荣熊壮王颉沈朝阳刘振华王旭光郭建宏魏云川
- 一种集成压电式万向冲击传感器
- 本实用新型公开了一种集成压电式万向冲击传感器，涉及传感器技术领域。本实用新型包括质量块和压电敏感元件，所述压电敏感元件上设置有Z轴轴向压力敏感输出电极对、Y轴轴向压力敏感输出电极对、X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接...
- 赵宝林刘显学刘天国陶逢刚
- 文献传递
- 一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统
- 本发明公开了一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统。该方法包括：采用虚拟激励法对目标陀螺仪、参考陀螺仪的刻度因子进行校准，得到校准后的目标陀螺仪和参考陀螺仪；获取校准后的目标陀螺仪处于正常工作状态时和处于模态反转态时输出...
- 赵宝林顾昊宇苏伟周浩刘显学唐彬
- 文献传递
- 一种压阻式压力传感器及其制备方法
- 本发明属于微电子机械系统领域，提供一种压阻式压力传感器及其制备方法。传感器采用5层SOI硅片100和普通硅片200制成。制备方法包括步骤：S02：在5层SOI硅片的第一结构层上刻蚀形成岛状结构；S02：使普通硅片的上下表...
- 张照云刘显学谢晋杨杰赵宝林熊壮李严军沈朝阳刘振华屈明山王颉王旭光
- 一种具有在线检测功能的微惯性开关
- 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种具有在线检测功能的微惯性开关，该微惯性开关在第一结构层的质量块上侧以及第二结构层下侧分别设置第一极板和第二极板形成检测电容器组，通过检测检测电容器组容值从而了解第一极板和第二极板之间的...
- 赵宝林张凤田谢晋王斌熊壮沈朝阳杜连明陈俊谢国芬
- 一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
- 本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤：根据悬臂梁‑质量块结构的图形，采用超快激光切割加工熔石英基片，在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道；清洗熔...
- 张照云沈朝阳王颉熊壮赵宝林刘振华王旭光屈明山郭建宏魏云川
- 压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计
- 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所...
- 刘显学赵宝林顾昊宇周浩唐彬杨杰谢国芬
- 具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
- 本发明涉及传感器技术领域，提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构，应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
- 杨杰赵宝林张照云熊壮屈明山李严军郑英彬
