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陈蓓
作品数:
12
被引量:3
H指数:1
供职机构:
东南大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
交通运输工程
建筑科学
医药卫生
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合作作者
黄庆安
东南大学
秦明
东南大学
叶一舟
东南大学
刘荣桂
东南大学
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金属物质
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封装
机构
12篇
东南大学
作者
12篇
陈蓓
8篇
秦明
8篇
黄庆安
2篇
叶一舟
1篇
刘荣桂
年份
1篇
2022
3篇
2017
2篇
2016
3篇
2015
2篇
2014
1篇
2012
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12
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一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法
本发明公开了一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法,在热式风速传感器感风面设有两个加热部件,需要校准时,通过分别使加热部件工作,可以获取相对两个方向的温差信号,通过将这两个相反的温差信号取算术平均就可得到当前...
秦明
叶一舟
陈蓓
朱雁青
黄庆安
文献传递
一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法,结合传统CMOS工艺与MEMS后处理工艺,对于水平方向风速分量采用芯片上中心对称放置加热单元以及四周分布的测温单元进行测量,对于竖直方向的风速分量采用中心...
黄庆安
陈蓓
秦明
文献传递
论家庭内受虐待儿童人身权保护
陈蓓
三维集成正面感风的热式风速风向传感器装置及封装方法
本发明公开了一种三维集成正面感风的热式风速风向传感器装置及封装方法,该装置,包括采用正面感风方式的热式风速风向传感器、CMOS电路芯片和印制电路基板,热式风速风向传感器包括低导热率衬底(热导率低于1W/m·K),在衬底的...
秦明
朱雁青
陈蓓
黄庆安
文献传递
基于衬底转移工艺的热式风速风向传感器及其封装方法
本发明公开了一种基于衬底转移工艺的热式风速风向传感器及其封装方法,在保证了与传统CMOS工艺完全兼容的同吋,利用导热粘合剂胶体将陶瓷基板和传感芯片进行键合,通过腐蚀或研磨的方法去掉硅衬底后,能够完全消除传感器加热元件产生...
秦明
朱雁青
陈蓓
黄庆安
文献传递
基于衬底转移工艺的热式风速风向传感器及其封装方法
本发明公开了一种基于衬底转移工艺的热式风速风向传感器及其封装方法,在保证了与传统CMOS工艺完全兼容的同吋,利用导热粘合剂胶体将陶瓷基板和传感芯片进行键合,通过腐蚀或研磨的方法去掉硅衬底后,能够完全消除传感器加热元件产生...
秦明
朱雁青
陈蓓
黄庆安
文献传递
一种FRP筋用粘结式锚具
本实用新型公开一种FRP筋用粘结式锚具。该锚具包括锚筒和端堵,其特征在于:所述锚筒内部形状为:两端各一平直段,中间为变角度的连续锥段,所述锚筒两端设有带通孔的端堵,所述锚筒上设有出气孔和浇灌孔。该锚具通过锚筒内的连续锥段...
刘荣桂
李十泉
陈蓓
李明君
蔡东升
文献传递
一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法
本发明公开了一种具有零点校准功能的热式风速传感器结构及校准方法,在热式风速传感器感风面设有两个加热部件,需要校准时,通过分别使加热部件工作,可以获取相对两个方向的温差信号,通过将这两个相反的温差信号取算术平均就可得到当前...
秦明
叶一舟
陈蓓
朱雁青
黄庆安
一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的三维风速风向传感器及其制备方法,结合传统CMOS工艺与MEMS后处理工艺,对于水平方向风速分量采用芯片上中心对称放置加热单元以及四周分布的测温单元进行测量,对于竖直方向的风速分量采用中心...
黄庆安
陈蓓
秦明
高性能MEMS风速风向传感器环境效应研究
微电子机械系统(MEMS)技术以其小型化、微电子集成和高精度批量制造等优点,广泛应用于军事、农业、航空、导航、气象监测、工业控制、消费电子、生物医药等诸多领域。近年来,国家出台了一系列政策和发展规划,推进现代化进程,包括...
陈蓓
关键词:
风速风向传感器
环境效应
互补金属氧化物半导体
微电子机械系统
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