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刘吉祥
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西安工业学院
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卢进军
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刘卫国
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单层ZnS膜的离子束辅助蒸发
刘吉祥
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卢进军
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硫化锌
光学薄膜
镀膜
宽束冷阴极离子源
本实用新型是宽束冷阴极离子源,用于薄膜离子束辅助淀积的装置,其主要部件是冷阴极、阳极和一个以上多孔引出栅组成的放电室,放电室处于永磁体形成的磁场中,该离子源可安装于各类真空镀膜机中,具有离子束束流密度和离子能量调节范围大...
严一心
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刘吉祥
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