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李春彦

作品数:8 被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域:自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 4篇药液
  • 4篇药液温度
  • 4篇自动化
  • 4篇自动化控制
  • 4篇自动化控制技...
  • 4篇控制技术
  • 4篇加热功率
  • 4篇补液
  • 3篇电晶体
  • 3篇压电晶体
  • 3篇声波
  • 3篇声波换能器
  • 3篇湿法腐蚀
  • 3篇清洗工艺
  • 3篇晶体
  • 3篇功率输出
  • 2篇异步采样
  • 2篇前馈
  • 2篇采样
  • 2篇串级

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇李春彦
  • 5篇李曼
  • 3篇吴仪
  • 3篇马嘉
  • 2篇昝威
  • 2篇裴立坤
  • 2篇韩雷刚

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
电路信号监测装置及方法
本发明涉及一种电路信号监测装置及方法,属于自动化控制领域。为了实时反馈加热器的工作状态,有效监控系统内部的运行状态,本发明所提供的电路信号监测装置包括电流互感器,所述电流互感器设置于加热器及PLC控制器之间,用于实时监测...
李曼李春彦马嘉
文献传递
用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置
本发明公开了一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置,涉及声波换能器技术领域,包括:换能器(1)、振子单元(2)、固定装置(3)、耦合介质层(4)和阻抗变压器(8),所述振子单元(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换...
吴仪李春彦
文献传递
清洗药液的复合温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的复合温度控制方法,属于自动化控制技术领域。为提高药液温度控制方法的抗扰动能力,该方法包括:在药液存储槽底部位置及工艺清洗供液出口处各自设置温度传感器;在加热器及工艺清洗供液出口处分别设置内环PID...
李曼李春彦马嘉
清洗药液的前馈温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法,属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力,该方法包括如下步骤:在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器,在加热器的出口处设置第二温度传感器,在...
李春彦李曼韩雷刚裴立坤昝威
文献传递
用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置
本实用新型公开了一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置,涉及声波换能器技术领域,包括:换能器(1)、振子单元(2)、固定装置(3)、耦合介质层(4)和阻抗变压器(8),所述振子单元(2)通过所述固定装置(3)安装于所...
吴仪李春彦
文献传递
用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置
本发明公开了一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置,涉及声波换能器技术领域,包括:换能器(1)、振子单元(2)、固定装置(3)、耦合介质层(4)和阻抗变压器(8),所述振子单元(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换...
吴仪李春彦
清洗药液的复合温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的复合温度控制方法,属于自动化控制技术领域。为提高药液温度控制方法的抗扰动能力,该方法包括:在药液存储槽底部位置及工艺清洗供液出口处各自设置温度传感器;在加热器及工艺清洗供液出口处分别设置内环PID...
李曼李春彦马嘉
文献传递
清洗药液的前馈温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法,属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力,该方法包括如下步骤:在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器,在加热器的出口处设置第二温度传感器,在...
李春彦李曼韩雷刚裴立坤昝威
共1页<1>
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