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马嘉

作品数：44 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 8篇晶片
  • 8篇感器
  • 8篇报警
  • 8篇传感
  • 8篇传感器
  • 7篇压力传感器
  • 7篇力传感器
  • 7篇工艺过程
  • 6篇声波
  • 6篇声波换能器
  • 6篇卡盘
  • 5篇实时控制
  • 4篇电路
  • 4篇控制器
  • 4篇控制装置
  • 4篇加热功率
  • 4篇过氧化氢
  • 4篇半导体
  • 3篇电压激励
  • 3篇对接

机构

  • 44篇北京七星华创...

作者

  • 44篇马嘉
  • 17篇吴仪
  • 9篇李曼
  • 8篇李文杰
  • 6篇姬丹丹
  • 5篇王超
  • 5篇张明
  • 3篇徐俊成
  • 3篇苏宇佳
  • 3篇初国超
  • 3篇王波雷
  • 3篇李春彦
  • 3篇张豹
  • 3篇黄金涛
  • 3篇程壮壮
  • 2篇张磊
  • 1篇阴志先

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 9篇2015
  • 5篇2014
  • 16篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
共 44 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种具有限位结构的盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，包括放置盘状物的旋转卡盘；带动旋转卡盘旋转的旋转轴；以及驱动旋转轴旋转的驱动机构。旋转卡盘包括基体，设于基体周缘的夹持元件，环形体以及限位结构。夹持元件包括主体部及夹持部，主体部自旋转而使...
姬丹丹王锐廷马嘉王波雷张豹
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一种设备无线监控系统
本实用新型公开了无线通讯技术领域中的一种设备报警无线监控系统。本实用新型包括安装在被测设备上的ZigBee终端节点和ZigBee路由节点、ZigBee终端节点和ZigBee路由节点通过ZigBee通信协议与ZigBee基...
王超马嘉
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应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置
本发明公开了一种应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置，包括：用于将化学药液加热的加热器；用于测量经加热器加热后的化学药液的实际温度的温度传感器；根据设定温度与测量的实际温度的温差输出控制信号的控制器；和根据所述控...
张磊张明马嘉
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一种二级串联泵速度的控制装置及方法
本发明公开了串联泵控制技术领域中的一种二级串联泵速度的控制装置及方法。PLC将一半的设定压力值和压力传感器检测到的一半的实际压力值发送到所述主动泵使主动泵转动；将所述主动泵转动的速度作为所述从动泵的设定速度驱动从动泵转动...
马嘉李文杰
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一种层流风的压力控制方法
本发明属于控制技术领域，具体公开了一种层流风的压力控制方法，其包括以下步骤：S1：设计压力模糊控制器；S2：对设备内部微环境中测量点与外部环境的差压值信号进行处理，作为压力模糊控制器的反馈值；S3：根据反馈值，压力模糊控...
马嘉吴仪
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一种腔室气流控制系统及方法
本发明公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。本发明包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器和...
张明徐俊成马嘉
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随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置
本发明涉及兆声波换能器技术领域，公开了一种随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置，其中，交流电压激励信号发生放大电路的微处理器用于输出多路交流电压激励信号的频率控制字和移相控制字至多通道交流电压激励信号发生电路，且至...
吴仪马嘉
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一种清洗机安全互锁保护系统
本实用新型提供一种清洗机安全互锁保护系统，所述系统包括图像监视装置，用于对清洗机内的运动部件进行图像监视，并将所获得的图像传给信息处理装置；位置监测装置，用于对清洗机内的运动部件进行位置监测，并将所获得的监测信号传给信息...
程壮壮马嘉
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清洗药液的复合温度控制方法
本发明涉及一种清洗药液的复合温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括：在药液存储槽底部位置及工艺清洗供液出口处各自设置温度传感器；在加热器及工艺清洗供液出口处分别设置内环PID...
李曼李春彦马嘉
一种腔室气流控制系统
本实用新型公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统。本实用新型包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器...
张明徐俊成马嘉
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