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张明

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇压力传感器
  • 4篇力传感器
  • 4篇控制器
  • 3篇实时控制
  • 3篇数据处理
  • 3篇数据处理单元
  • 3篇气体压力
  • 3篇控制装置
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体制造
  • 3篇半导体制造技...
  • 2篇药液
  • 2篇温差
  • 2篇温度控制
  • 2篇温度控制装置
  • 2篇加热器
  • 2篇功率

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇张明
  • 5篇马嘉
  • 5篇张磊
  • 3篇徐俊成

年份

  • 1篇2017
  • 5篇2015
  • 2篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置
本发明公开了一种应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置，包括：用于将化学药液加热的加热器；用于测量经加热器加热后的化学药液的实际温度的温度传感器；根据设定温度与测量的实际温度的温差输出控制信号的控制器；和根据所述控...
张磊张明马嘉
文献传递
一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置
本实用新型涉及硅片清洗工艺技术领域，尤其涉及一种夹持机构垂直工艺位置的控制装置。其包括可编程计算机控制器以及设置在工艺腔室内的夹持机构与光电传感器，所述光电传感器与所述夹持机构对应设置，用于感应所述夹持机构的垂直位置并输...
张明张磊
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一种腔室气流控制系统及方法
本发明公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。本发明包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器和...
张明徐俊成马嘉
文献传递
一种腔室气流控制系统
本实用新型公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统。本实用新型包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器...
张明徐俊成马嘉
文献传递
应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置
本发明公开了一种应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置，包括：用于将化学药液加热的加热器；用于测量经加热器加热后的化学药液的实际温度的温度传感器；根据设定温度与测量的实际温度的温差输出控制信号的控制器；和根据所述控...
张磊张明马嘉
清洗喷射装置
本实用新型提供了一种清洗喷射装置，该清洗喷射装置包括喷射臂、喷射梁以及喷嘴；所述喷射臂中设有第一液体通道和第一气体通道；所述喷射梁的一端与所述喷射臂的一端相连，所述喷射梁中设有第二液体通道和第二气体通道，所述第二液体通道...
张磊张明
药液供给系统
本实用新型提供了一种药液供给系统，该药液供给系统包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵；该药液存储装置与该多级泵中第一级泵的输入口相连；该压力传感器设置在与该多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，该...
张磊张明
一种腔室气流控制系统及方法
本发明公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。本发明包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器和...
张明徐俊成马嘉
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