王嘉欣
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：河北工业大学更多>>
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- 可变量程比重计
- 本实用新型公开了一种可变量程比重计。本实用新型所采用的技术方案是：它包括带有两种刻度的玻璃壳体和装有配重铅粒的真空管，所述玻璃壳体与真空管之间设置圆柱状的注水空间，所述注水空间顶部安装开关活塞。本实用新型可以在准确测量一...
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- 文献传递
- 一种温控吹风机
- 本实用新型公开了一种温控吹风机。本实用新型所采用的技术方案是：包括风机外壳，所述风机外壳上安装温度显示屏、温度控制开关和电源开关，所述风机外壳内设置控制电路，所述温度显示屏与控制电路相连，在吹风机外壳手柄处引出一热敏元件...
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- 文献传递
- 蓝宝石衬底CMP中温度控制对速率的影响被引量：2
- 2015年
- 化学机械抛光(CMP)是固体物质表面超精密加工最重要的方法之一,温度是影响CMP过程中化学反应快慢及材料去除速率的重要因素之一.本文重点研究了蓝宝石衬底CMP过程中抛光前期温度上升时间对最终抛光效果的影响,并采用原子力显微镜观察表面粗糙度,通过测厚仪测量去除厚度.实验结果表明,通过小流量快启动方式,减少温度上升时间,可以有效提高抛光去除速率,改善去除速率均匀性.在工作压力为0.1 MPa时,抛光开始15 min后使温度提升到35℃,抛光速率为4.07 m/h,片内速率非均匀性为4.73%,粗糙度为0.174 nm.
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- 关键词：蓝宝石衬底化学机械抛光温度控制去除速率
