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滕宇

作品数：49 被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：文化科学医药卫生天文地球电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 48篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇文化科学
  • 2篇天文地球
  • 2篇医药卫生
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 16篇晶圆
  • 16篇二相流
  • 12篇石英
  • 12篇气体
  • 11篇液体流
  • 11篇超声波
  • 10篇雾化
  • 10篇共振腔
  • 9篇压电
  • 9篇声波
  • 9篇无损伤
  • 9篇出口
  • 8篇清洗工艺
  • 8篇颗粒尺寸
  • 6篇压电材料
  • 6篇药液
  • 5篇振动
  • 5篇气体流
  • 5篇气液两相
  • 5篇清洗方法

机构

  • 49篇北京七星华创...

作者

  • 49篇滕宇
  • 20篇吴仪
  • 16篇李伟
  • 4篇黄金涛
  • 1篇刘效岩
  • 1篇冯晓敏
  • 1篇刘伟
  • 1篇陈洁
  • 1篇许璐

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 6篇2019
  • 6篇2018
  • 9篇2017
  • 16篇2016
  • 12篇2015
共 49 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种改善晶圆腐蚀非均匀性的装置和方法
本发明公开了一种改善晶圆腐蚀非均匀性的装置和方法，通过利用温度监测单元和温度扫描结果处理单元实时监测晶圆表面温度分布情况，并根据温度扫描结果控制脉冲激光加热单元改变脉冲激光能量在激光光束截面内的分布情况，实现对晶圆表面局...
滕宇
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无损伤单晶圆兆声波清洗装置的研发被引量：2
2016年
在半导体制造中,随着集成电路特征尺寸的不断缩小,晶圆表面纳米颗粒污染物的无损伤清洗变得越来越具有挑战。介绍了一种自主研发的单晶圆兆声波清洗装置,利用石英微共振腔阵列对到达晶圆表面的兆声波能量进行控制。研究了不同工艺条件下该装置清洗后的颗粒去除效率,并与常规喷嘴的清洗结果进行比较。在图形损伤方面,采用该装置对具有40 nm线宽的多晶硅线条状栅极结构的图形晶圆进行了损伤测试,并与商业化的兆声波清洗装置的清洗结果进行对比。结果表明,该自主研发的装置能够在保证对晶圆表面图形结构没有损伤的前提下,有效地去除颗粒污染物,在40 nm及以下的半导体清洗工艺中应用前景广阔。
滕宇陈洁冯晓敏刘伟刘效岩吴仪
关键词：无损伤
一种可自清洁的二相流雾化喷射清洗装置及清洗方法
本发明公开了一种可自清洁的二相流雾化喷射清洗装置及清洗方法，在喷嘴主体内设置带有预设角度的液体导向出口的多路液体分流管路，以及带有垂直气体导向出口的出气网板，使喷射出的高速液体流与高速气体流产生充分地相互作用，形成颗粒尺...
滕宇李伟
文献传递
一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置
本发明公开了一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置，包括本体和超声波/兆声波频率控制单元，本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有压电材料，压电材料连接本体外的信号源，底部石英部件设有...
滕宇黄金涛吴仪
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提高清洗均匀度的图形晶圆无损伤清洗装置
本发明公开了一种提高清洗均匀度的图形晶圆无损伤清洗装置，在壳体密封腔内设有上下紧贴的超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，底部石英部件包括相连的环状石英微共振腔保护圈和由多个垂直棒状石英结构组成的石英微共振腔阵列，环状石...
滕宇李伟吴仪
一种用于晶圆单片清洗设备的清洗液体收集装置
本实用新型公开了一种用于晶圆单片清洗设备的清洗液体收集装置，包括进气部分、清洗液体收集部分和气-液分离部分，通过进气部分向清洗液体收集部分通入气体，在气体出口处形成环形气帘，与晶圆表面甩离的清洗液体发生非弹性碰撞，使清洗...
滕宇吴仪李伟
文献传递
一种具有气体保护的二相流雾化喷射清洗装置
本实用新型公开了一种具有气体保护的二相流雾化喷射清洗装置，在喷嘴主体内设置带有预设角度的液体导向出口的多路液体分流管路，以及带有垂直气体导向出口的出气网板，使喷射出的高速液体流与高速气体流产生充分地相互作用，形成颗粒尺寸...
滕宇李伟
文献传递
一种低温药液清洗装置
本发明提供了一种低温药液清洗装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，本发明首先通过气体冷却装置对常温气体进行降温冷却，然后将冷却后的气体输送至药液冷却装置内，使常温清洗药液和低温冷却气体之间发生热量交换，从而降低清洗药液温度，...
滕宇
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一种二相流雾化喷射清洗装置及清洗方法
本发明公开了一种二相流雾化喷射清洗装置及清洗方法，通过在喷嘴主体内设置带有预设角度的液体导向出口的多路液体分流管路，以及带有垂直气体导向出口的出气网板，可使喷射出的高速液体流与高速气体流产生充分地相互作用，形成颗粒尺寸均...
滕宇李伟
一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置
本发明公开了一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，包括本体和超声波/兆声波频率控制单元，本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有若干具有不同固有频率并组合为整体的压电材料，底部石英部件...
滕宇黄金涛吴仪
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