尚瑛琦
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 相关领域：环境科学与工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 基于湿法腐蚀的蓝宝石微结构加工技术研究
- 针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的影响,选取不同工艺参数进行实验并对腐蚀后蓝宝石片进行测试分...
- 尚瑛琦齐虹马云龙张岩陈婧
- 关键词：湿法腐蚀蓝宝石面粗糙度
- 加速度传感器芯片湿法加工技术研究
- 2013年
- 本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。
- 张岩尚瑛琦王晓光刘智辉
- 关键词：湿法腐蚀KOH凸角补偿TMAH
