张岩
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术环境科学与工程电子电信化学工程更多>>
- 基于湿法腐蚀的蓝宝石微结构加工技术研究
- 针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的影响,选取不同工艺参数进行实验并对腐蚀后蓝宝石片进行测试分...
- 尚瑛琦齐虹马云龙张岩陈婧
- 关键词：湿法腐蚀蓝宝石面粗糙度
- 微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究
- 2012年
- 通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其它需要超薄薄膜微结构的制作奠定了基础。
- 李玉玲齐虹张岩
- 关键词：湿法腐蚀TMAHKOH
- 流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量：1
- 2016年
- 通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。
- 齐虹李玉玲王晓光张岩寇文兵
- 关键词：流量传感器温度系数
- 加速度传感器芯片湿法加工技术研究
- 2013年
- 本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。
- 张岩尚瑛琦王晓光刘智辉
- 关键词：湿法腐蚀KOH凸角补偿TMAH
- 高温压力传感器测试标定系统的研究
- 2021年
- 鉴于现有压力传感器校准系统存在精度低和自动化程度低的问题,选择高精度压力传感器作为系统参考压力传感器,并选择了多功能压力腔和压力调节模块来配合使用具有粗调和细调的设计。基于C++编程语言编写系统软件,构建了高精度的压力传感器自动校准系统。实验表明,所建立的标定系统可以在30s内使腔室压力迅速达到所需压力值,并且压力控制精度可以达到±1Pa。通过对压力传感器进行自动校准测试实验,可以在整个过程中对压力传感器进行自动校准。
- 张岩吴佐飞尚瑛琪
- 关键词：压力传感器自动化校准
