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刘洁

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京师范大学分析测试中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离子注入
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇北京师范大学

作者

  • 1篇卢武星
  • 1篇刘洁

传媒

  • 1篇北京师范大学...

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束缺陷工程与离子注入激活率的提高
1997年
研究了运用离子束缺陷工程提高离子注入Si中掺杂激活率的新方法．MeV高能Si注入被有效地用于防止缺陷（损伤）层对P激活的有害影响，大大提高了掺杂杂质的平均激活水平．
卢武星刘洁J.R.Liefting
关键词：掺杂离子注入
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共1页<1>
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