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化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀: 2016年; 利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴,并且在高温条件下对石墨烯晶畴进行氢气刻蚀,利用光学显微镜和扫描电子显微镜对石墨烯晶畴进行观测,发现高温条件下石墨烯晶畴表面能够被氢气刻蚀出网络状和线状结构的刻蚀条纹.通过电子背散射衍射测试证明了刻蚀条纹的形态、密度与铜衬底的晶向有密切关系.通过对比实验证明了石墨烯表面上的刻蚀条纹是由于石墨烯和铜衬底的热膨胀系数不同,在降温过程中,石墨烯表面形成了褶皱,褶皱在高温氢气气氛下发生氢化反应形成的.对转移到二氧化硅衬底的石墨烯晶畴进行原子力显微镜测试,测试结果表明刻蚀条纹的形貌、密度与石墨烯表面褶皱的形貌、密度十分相似.进一步证明了刻蚀条纹是由于褶皱结构被氢气刻蚀引起的.实验结果表明,即使在六角形石墨烯晶畴表面也存在褶皱和点缺陷.本文提供了一种便捷的方法来观察铜衬底上石墨烯褶皱的分布与形态;同时,为进一步提高化学气相沉积法制备石墨烯的质量提供了更多参考.; 王彬冯雅辉王秋实张伟张丽娜马晋文张浩然于广辉王桂强; 关键词：石墨烯化学气相沉积褶皱刻蚀

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张浩然