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郭斌斌

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：中国科学院福建物质结构研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇质谱
  • 1篇质谱法
  • 1篇质谱法测定
  • 1篇辉光
  • 1篇辉光放电
  • 1篇辉光放电质谱
  • 1篇辉光放电质谱...
  • 1篇ITO

机构

  • 1篇福建农林大学
  • 1篇中国科学院福...

作者

  • 1篇黄瑾
  • 1篇郭斌斌
  • 1篇郑清洪

传媒

  • 1篇分析试验室

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
辉光放电质谱法测定氧化铟锡靶材中的元素含量被引量：9
2016年
利用辉光放电质谱仪(GDMS)一次性直接测定ITO靶材中的主体元素和痕量元素。首先考察了ITO样品中的元素和Ar,H,O,N等气体元素形成的多原子离子干扰,利用X射线光电子能谱确定氧化铟锡靶材的主体元素In和Sn的组分,通过GDM S校正获得二者的相对灵敏度因子(RSF),从而对ITO中的In和Sn进行定量,并利用典型RSF对其他痕量元素进行半定量。测试的结果具有较好的准确度和精度。利用校正RSF和典型RSF相结合进行测试的方法同样适用于类似的掺杂的半导体材料。
黄瑾郭斌斌郑清洪
关键词：辉光放电质谱法ITO
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