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余金清

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院福建物质结构研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 1篇对应点
  • 1篇平行光
  • 1篇氘灯
  • 1篇微电子
  • 1篇卤钨灯
  • 1篇模拟计算
  • 1篇可调
  • 1篇光斑
  • 1篇光谱
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤光源
  • 1篇光源
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅周期
  • 1篇尺寸检测

机构

  • 2篇中国科学院福...

作者

  • 2篇朱振国
  • 2篇余金清
  • 2篇陈树强

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种光谱强度分布可调的氘卤钨灯复合光源装置
一种光谱强度分布可调的氘卤钨灯复合光源装置，包括电源控制箱与灯室，电源控制箱与灯室之间通过多芯电缆连接；灯室内含有安装座，在安装座上沿主轴依次设置有卤钨灯、汇聚透镜、氘灯、汇聚透镜组、接头安装孔，所述接头安装孔可安装针孔...
朱振国陈树强余金清
文献传递
一种平行光微光斑光学关键尺寸分析装置及检测方法
本申请公开了一种平行光微光斑光学关键尺寸检测方法，采用该检测方法，能够分析微电子结构中垂直侧壁结构与非垂直侧壁结构。该检测方法先通过光谱仪检测到样品的关注参数曲线，再通过建立样品结构光栅周期、占空比、光栅厚度等关键尺寸信...
陈树强邓浩朱振国余金清
文献传递
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共1页<1>
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