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陈树强

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院福建物质结构研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇模拟计算
  • 1篇对应点
  • 1篇亚波长
  • 1篇远场
  • 1篇矢量分析
  • 1篇平行光
  • 1篇组合结构
  • 1篇氘灯
  • 1篇微电子
  • 1篇卤钨灯
  • 1篇可调
  • 1篇光斑
  • 1篇光谱
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤光源
  • 1篇光源
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅周期
  • 1篇波长
  • 1篇尺寸参数

机构

  • 3篇中国科学院福...

作者

  • 3篇陈树强
  • 2篇朱振国
  • 2篇余金清

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
亚波长尺度微电子结构光学关键尺寸测试分析方法及装置
本申请公开了一种亚波长尺度微电子结构光学关键尺寸分析方法，其特征在于，包含步骤：a)将远场超透镜平行置于待测样品表面，用光源照射远场超透镜和待测样品构成的组合结构的远场超透镜表面，测得样品实测零级衍射谱；b)基于矢量分析...
邓浩李雯陈树强
文献传递
一种光谱强度分布可调的氘卤钨灯复合光源装置
一种光谱强度分布可调的氘卤钨灯复合光源装置，包括电源控制箱与灯室，电源控制箱与灯室之间通过多芯电缆连接；灯室内含有安装座，在安装座上沿主轴依次设置有卤钨灯、汇聚透镜、氘灯、汇聚透镜组、接头安装孔，所述接头安装孔可安装针孔...
朱振国陈树强余金清
文献传递
一种平行光微光斑光学关键尺寸分析装置及检测方法
本申请公开了一种平行光微光斑光学关键尺寸检测方法，采用该检测方法，能够分析微电子结构中垂直侧壁结构与非垂直侧壁结构。该检测方法先通过光谱仪检测到样品的关注参数曲线，再通过建立样品结构光栅周期、占空比、光栅厚度等关键尺寸信...
陈树强邓浩朱振国余金清
文献传递
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共1页<1>
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