您的位置： 专家智库 > 作者详情>刘鲁勤

刘鲁勤

作品数：3 被引量：11H指数：2
供职机构：华中理工大学光电子工程系更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇透镜
  • 3篇微透镜
  • 2篇探测器
  • 2篇红外
  • 2篇红外探测
  • 2篇红外探测器
  • 2篇YBCO
  • 1篇探测器阵列
  • 1篇探测器组件
  • 1篇透镜阵列
  • 1篇微透镜阵列
  • 1篇线列
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束刻蚀
  • 1篇面阵
  • 1篇刻蚀
  • 1篇混合型
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇红外探测器阵...

机构

  • 3篇华中理工大学

作者

  • 3篇易新建
  • 3篇张新宇
  • 3篇刘鲁勤
  • 2篇何苗
  • 2篇赵兴荣
  • 1篇张智

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇中国激光
  • 1篇光子学报

年份

  • 3篇1998
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
相关度排序
线列混合型石英微透镜/红外探测器阵列的研究被引量：3
1998年
阐述了利用离子束刻蚀技术制作线列长方状拱面石英微透镜阵列的工艺方法，对所制微光学元件的光学性能进行了测试和讨论，所制成的石英微透镜阵列器件在线列ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器上得到了应用。实验结果表明，混合型的石英微透镜／红外探测器结构显著改善了线列ＹＢＣＯ高温超导薄膜红外探测器的光响应特性。
张新宇易新建赵兴荣赵兴荣何苗刘鲁勤
关键词：离子束刻蚀微透镜阵列YBCO红外探测器
微透镜和高Tc超导红外探测器组件被引量：1
1998年
本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透镜阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。实验结果显示，所制超导红外探测器阵列的光响应特性有明显改善。
张新宇易新建赵兴荣何苗张智刘鲁勤
关键词：YBCO红外探测器超导器件
微透镜制作中光刻胶与衬底匹配行为的研究被引量：7
1998年
利用光刻／离子束刻蚀制作大面阵硅微透镜阵列，采用SEM和表面探针测试等手段分析所制样品的形貌特点，定性讨论制备工艺的不同对所制器件的影响．所用工艺为大面阵微尖阵列和微合阵列的离子束刻蚀制作奠定了基础．
张新宇易新建起兴荣刘鲁勤
关键词：面阵微透镜光刻胶
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0