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罗庆芳

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：江西大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇半导体
  • 1篇电视显微镜
  • 1篇荧光谱
  • 1篇紫外
  • 1篇无损检测
  • 1篇金属杂质
  • 1篇晶片
  • 1篇光谱
  • 1篇半导体晶片

机构

  • 2篇江西大学

作者

  • 2篇曾庆城
  • 2篇王水凤
  • 2篇罗庆芳
  • 1篇张霖霖

传媒

  • 2篇江西大学学报...

年份

  • 1篇1992
  • 1篇1989
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
半导体晶片Fe/Ni玷污的紫外荧光谱研究
1992年
针对Si,GaAs半导体晶片中金属杂质玷污的问题,本文提出了紫外光致荧光谱的检测方法。常温下,晶片中的Fe,Ni杂质玷污可产生紫外特征荧光峰。这种新的检测方法是非破坏性的,并适用于φ76.2mm,φ100mm大圆片的直接检验,而且具有较高的检测灵敏度。
曾庆城王水凤罗庆芳严中一张霖霖
关键词：半导体晶片金属杂质
对半导体杂质沉淀无损检测的若干结果
1989年
用XCD-H红外电视测微显微镜,通过无损检测来评价半导体材料与器件工艺的质量。本文仅对材料的完整性与芯片制造工艺导致杂质沉淀的问题进行讨论。
曾庆城王水凤罗庆芳胡解生任建雄廖隆宣
关键词：无损检测电视显微镜
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共1页<1>
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