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金玮
作品数:
6
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供职机构:
中国计量大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
许素安
中国计量大学
黄艳岩
中国计量大学
富雅琼
中国计量大学
王桂荣
中国计量大学
李青
中国计量大学
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机构
6篇
中国计量大学
作者
6篇
金玮
5篇
黄艳岩
5篇
许素安
3篇
富雅琼
1篇
李青
1篇
王桂荣
年份
2篇
2019
3篇
2017
1篇
2016
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6
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一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统
本发明公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统。本发明由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上引入偏振态转换技术,以获得含有位移信息的合成线性偏振光。偏振检测单元为...
许素安
金玮
黄艳岩
文献传递
一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置
本实用新型公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置。本实用新型由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上加入偏振元件,以实现激光偏振态的转换。偏振检测单元为采用基于电...
金玮
许素安
黄艳岩
李青
王桂荣
文献传递
一种大范围原子力显微镜扫描定位装置
本实用新型公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位装置。本实用新型中AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈;立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪;XY平面扫描器的运动与AFM的...
谢航杰
许素安
金玮
黄艳岩
富雅琼
文献传递
一种大范围原子力显微镜扫描定位系统
本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心,AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈;立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪;...
许素安
金玮
黄艳岩
富雅琼
谢航杰
计量型紫外显微镜位移溯源及线宽成像测量技术研究
紫外显微镜因为采用波长较短的紫外光作为照明光,所以其与传统光学显微镜相比具有更高的测量分辨率,从而被广泛应用于微纳几何尺寸测量。但是紫外显微镜量值无法直接溯源至国际单位米定义,为此中国计量科学研究院研制了计量型紫外显微镜...
金玮
关键词:
自动对焦
一种大范围原子力显微镜扫描定位系统
本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心,AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈;立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪;...
许素安
金玮
黄艳岩
富雅琼
谢航杰
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