高尚
- 作品数：7 被引量：8H指数：1
- 供职机构：山东大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信轻工技术与工程更多>>
- PECVD法生长SiO2薄膜工艺优化
- SiO2薄膜具有绝热性好、光透过率高、抗腐蚀能力强、良好的介电性质等特点,SiO2薄膜已广泛应用在制作电子器件和集成器件、光学薄膜器件、传感器等诸多领域。采用等离子增强型化学气相沉积（PECVD）方法,在GaAs衬底上制...
- 宋平连洁高尚李萍王晓吴仕梁马峥
- 关键词：PECVD椭偏仪折射率
- 文献传递
- 退火对6H-SiC晶体的光学性质及光致发光的影响被引量：1
- 2010年
- 利用双光束分光光度计对高温退火前后的掺氮和未掺杂6H-SiC晶体的透射及反射谱进行了分析,发现无论退火前后,两种SiC晶体在紫外区均存在强烈的吸收。在可见和近红外区,尤其是未掺杂SiC样品具有很高的透射率,退火后,两种样品的透射率均明显提高。利用荧光分光光度计研究了退火前后样品的光致发光特性,结果表明:在390 nm Xe灯激发下,两种样品在417 nm和436 nm处均可观察到蓝光发射,417 nm处的发光归结于C簇的发光,436 nm处的发光机理为从晶粒的核心激发载流子转移到晶粒表面,并与其上的发光中心辐射复合;同时,掺氮SiC在575 nm处还存在发光峰,为氮掺入后引起的非晶SiC的发光,在325 nm Xe灯激发下,525 nm处存在发光峰,其详细发光机制有待进一步研究。
- 马峥连洁王青圃马跃进宋平高尚吴仕梁王晓徐现刚李娟
- 关键词：光学性质光致发光
- 近红外激光照明器均匀性评价技术研究被引量：6
- 2013年
- 近红外激光照明是在低照度情况下,用近红外激光作为光源对远距离目标进行主动照明.由于激光的产生机制、匀光装置和照明器采用的光学系统公差、大气湍流等因素,近红外激光光束在目标面上的光强空间分布不均匀,对成像、观测准确度产生较大影响.本文提出采用近红外激光光强功率谱衡量照明近红外激光光强分布均匀性,即采用归一化后光强功率谱所围成的面积作为衡量近红外激光照明均匀性的参量.利用这种方法,对不同的近红外激光照明器,在相同的工作状态下的照明均匀性评估参量进行了研究,结果验证了采用归一化后光强功率谱所围成的面积作为评价参量的合理性.
- 王英顺连洁高尚王晓孙兆宗
- 关键词：功率谱
- 掺氮碳化硅晶体的近红外光谱研究
- 2009年
- 分别用红外光谱测量系统和双光束分光光度计研究了室温下碳化硅单晶的光学性质,测得碳化硅晶体的透射率和反射率随波变化的关系。通过掺氮与非掺杂碳化硅各种光谱的比较,发现掺氮不仅使近红外透射率降低,也导致反射率下降,掺氮碳化硅晶体在可见光部分出现了比较明显的吸收带。此外,利用透射谱还获得非掺杂6H-SiC晶体的折射率。
- 张燕连洁宋平高尚马跃进李娟
- 关键词：近红外反射光谱透射光谱光学性质
- 椭圆偏振法研究B离子注入LiNbO_3光波导的光学特性被引量：1
- 2009年
- 用椭圆偏振法研究了2.5 MeV B离子注入后的铌酸锂晶体,建立四层模型,对反射式椭圆偏振测量得出的数据进行反演拟合,得到了波导层厚度及0.3~0.8μm波段波导层和损伤层的双折射色散曲线,发现低剂量B离子注入铌酸锂形成了折射率下降的位垒,在晶体表面下2.0μm范围内得到了光波导结构。研究结果为以铌酸锂为基础的光波导器件研发提供了重要信息。
- 于晓红连洁卢霏宋平高尚
- 关键词：离子注入折射率
- 分子束外延生长超薄铝膜光学常数的研究
- 随着集成光学与微电子学的发展,超薄金属膜性质的研究变得越来越重要。超薄金属膜的光学常数对薄膜厚度的灵敏性给光学常数的测量带来了困难。尤其是对于10nm以下的超薄金属膜的研究,常常受制于实验条件而无法得到精确的结果。此次实...
- 高尚连洁宋平李萍马铮王晓吴仕梁
- 关键词：表面光学光学常数分子束外延椭偏测量
- 文献传递
- 衬底温度对PECVD法生长SiO2薄膜性能影响的研究
- 使用等离子增强型化学沉积法（PECVD）制备SiO2薄膜具有诸多优点。如何减少产物中的杂质元素以获得更高质量的SiO2薄膜是一个很值得研究的问题。此次实验使用PECVD法在砷化镓衬底上制备二氧化硅薄膜。通过X射线光电子能...
- 高尚连洁宋平马铮王晓吴仕梁
- 关键词：二氧化硅薄膜椭偏测量X射线光电子能谱
- 文献传递
