王林梓
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统
- 本申请提供一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，包括光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述第一分光元件使通过所述准直单元的平行光的一部分垂直入射至样品上，以及...
- 王林梓刘涛李国光
- 文献传递
- 太阳能基板薄膜多任务测量系统
- 本发明一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，包括测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；所述计...
- 吴文镜王林梓李国光刘涛夏洋马铁中
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- 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统
- 本申请提供一种利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统，包括光源、第一分光元件、准直单元及探测单元；所述准直单元，将光源产生的光会聚成平行光；所述第一分光元件使通过所述准直单元的平行光的一部分垂直入射至样品上，以及...
- 王林梓刘涛李国光
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- 太阳能基板薄膜多任务测量系统
- 本发明一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，包括测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；所述计...
- 吴文镜王林梓李国光刘涛夏洋马铁中
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- 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用被引量：5
- 2013年
- 椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面,描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是:如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知,则可以通过测量光强变化的傅里叶系数,采用最小二乘法原理反演出此时椭偏系统的信息(即校准参数,包括起偏器方位角P,检偏器方位角A,波片起始旋转角Cs,波片位相延迟δ,系统入射角θ0)。利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数,求得未知样品的厚度。该方法具有操作简单、节约成本等优点。分别针对2～6个样品尝试了校准,对该校准方法做了模拟分析。将该方法用于实际测量,考证校准后的测量效果,并做了误差分析,最大误差为0.26nm。
- 徐鹏刘涛王林梓李国光熊伟荣健
- 关键词：最小二乘法
