史丽云
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 设计和工艺参数对声表面波器件性能的影响
- 2017年
- 设计并制作了多种声表面波(SAW)器件,并研究了设计参数与工艺参数对器件特性的影响。首先在同一块掩膜板内设计了多组不同尺寸与间距参数的SAW器件,然后用微电子机械系统(MEMS)微加工工艺在Mg_xZn_(1-x)O/Si压电薄膜和128°YZ与XZ取向的LiNbO_3压电材料衬底上制作了多种SAW器件。利用X射线衍射(XRD)对压电材料的压电晶向进行了测量、表征和工艺比较,确定了适宜的薄膜溅射条件。利用网络分析仪(VNA)及高频探针台测量了S11高频特性,测量结果表明相对应的谐振频率值与理论值相符合,测出的谐振频率在80~330 MHz。分析了工艺偏差对SAW器件谐振特性的影响。分析结果表明由于工艺偏差导致的叉指电极的指宽差异导致了谐振频率与理想计算值的偏差,工艺偏差同样会导致S11曲线的不对称和谐波的产生。通过LiNbO_3上制作的SAW器件计算出的声波传播速度比较统一,128°YX LiNbO_3上制作的SAW器件计算出的声波传播速度为3 800~3 900 m/s,XZ LiNbO_3上制作的SAW器件计算出的声波传播速度为3 300~3 400 m/s;而在Mg_xZn_(1-x)O/Si压电薄膜上制作的SAW器件推算出的声波传播速度与设计波长或相关尺寸有关。
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- 关键词：压电薄膜射频器件回波损耗
- 毫米波集成天线测试系统
- 本文介绍了一套毫米波集成天线测试系统,该系统主要包括矢量网络分析仪、扩频模块、探针台、天线转台及控制器部分。该系统能够在远场条件下完成基于探针或波导馈电形式50GHz~325GHz频率范围内片上天线阻抗及辐射特性的测试。
- 史丽云郭鸽赵锐张耀平
- 关键词：矢量网络分析仪
- 文献传递
- 氧化锌系列薄膜体声波谐振器研制与表征被引量：2
- 2016年
- 研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。通过优化条件,制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件。该谐振器回波损耗可达-20 dB,谐振峰在1.8~2.4 GHz,Q值可达800。利用X射线衍射（XRD）谱研究了MgxZn1-xO压电薄膜的结晶特性,得到了很好的c轴（002）铅锌矿薄膜结构特性。利用3D显微镜观测了固体装配型薄膜体声波谐振器的表面与侧面结构。根据MgxZn1-xO压电层的测量厚度和谐振频率,计算了掺镁氧化锌薄膜体声波谐振器的相位声速值为6 854.1 m/s,比纯氧化锌压电薄膜的声速6 330 m/s略高。
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- 关键词：谐振器CMOS集成电路
