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陈兆霞
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
电子科技大学微电子与固体电子学院
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发文基金:
四川省科技支撑计划
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
何为
电子科技大学微电子与固体电子学...
王守绪
电子科技大学微电子与固体电子学...
薛卫东
电子科技大学微电子与固体电子学...
张敏
电子科技大学微电子与固体电子学...
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张敏
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薛卫东
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何为
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陈兆霞
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实验科学与技...
年份
1篇
2010
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均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用
被引量:1
2010年
运用实验设计方法对等离子清洗挠性印制线路板去钻污工艺参数进行了优化。结果表明,用均匀设计法进行试验,仅需试验12次便可获得实验结果,通过非回归分析即可得到凹蚀量y(μm)与CF4含量、射频功率、真空度、温度、时间等因素的回归方程。其方程具有很好的拟合度,并取得了良好的清洗效果,为后续工序得到合格的金属化孔提供了保证。
薛卫东
何为
王守绪
陈兆霞
张敏
陈浪
何波
万永东
关键词:
均匀设计
等离子体
去钻污
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