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陈兆霞

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:电子科技大学微电子与固体电子学院更多>>
发文基金:四川省科技支撑计划更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇去钻污
  • 1篇均匀设计
  • 1篇均匀设计法

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇珠海元盛电子...

作者

  • 1篇张敏
  • 1篇薛卫东
  • 1篇王守绪
  • 1篇何为
  • 1篇陈兆霞

传媒

  • 1篇实验科学与技...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用被引量:1
2010年
运用实验设计方法对等离子清洗挠性印制线路板去钻污工艺参数进行了优化。结果表明,用均匀设计法进行试验,仅需试验12次便可获得实验结果,通过非回归分析即可得到凹蚀量y(μm)与CF4含量、射频功率、真空度、温度、时间等因素的回归方程。其方程具有很好的拟合度,并取得了良好的清洗效果,为后续工序得到合格的金属化孔提供了保证。
薛卫东何为王守绪陈兆霞张敏陈浪何波万永东
关键词:均匀设计等离子体去钻污
共1页<1>
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