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朱玮
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李影
中国电子科技集团第五十八研究所
蒋红利
中国电子科技集团第五十八研究所
乔明
电子科技大学光电信息学院电子薄...
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乔明
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李影
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朱玮
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1篇
微电子学
年份
1篇
2010
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600V高低压兼容BCD工艺及驱动电路设计
被引量:7
2010年
基于高压功率集成电路的关键参数性能要求和现有工艺条件,在国内3μmCMOS工艺基础上,开发出8~9μm薄外延上的600VLDMOS器件及高低压兼容BCD工艺,并设计出几款600V高压半桥栅驱动电路。该工艺在标准3μm工艺基础上增加N埋层、P埋层及P-top层,P埋层和P阱对通隔离,形成各自独立的N-外延岛。实验测试结果表明:LDMOS管耐压达680V以上,低压NMOS、PMOS及NPN器件绝对耐压达36V以上,稳压二极管稳压值为5.3V。按该工艺进行设计流片的电路整体参数性能满足应用要求,浮动偏置电压达780V以上。
蒋红利
朱玮
李影
乔明
关键词:
LDMOS
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