李亚文
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作被引量：2
- 2008年
- 相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求。采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在聚酰亚胺薄膜上成功制作了高高宽比的菲涅尔波带片。首先利用电子束光刻和微电镀技术制作了X射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和微电镀制作了高高宽比、线条侧壁陡直的菲涅尔波带片。复制后的波带片最外环宽度500 nm,直径1 mm,吸收体金厚度为3.6μm,高宽比达到7.2,可用于10 keV^25 keV的硬X射线成像。
- 吴璇陈军宁朱效立牛洁斌李亚文胡松胡松
- 关键词：硬X射线X射线光刻电子束直写
- 光子筛的超分辨聚焦特性研究被引量：3
- 2009年
- 对光子筛的结构进行了优化设计,通过实验研究了光子筛对355nm激光的聚焦特性,并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先,使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序,优化设计了光子筛图形;制作了特征尺寸为2μm、适用于355nm激光的聚焦光子筛和波带片;搭建了聚焦光斑的测试光路系统,得到了光子筛和波带片对355nm激光的聚焦光斑。通过比较分析,得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。
- 李亚文陈军宁贾佳朱效立吴璇谢常青
- 关键词：衍射光学波带片旁瓣抑制
