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吴剑锋

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：浙江国际海运职业技术学院更多>>
发文基金：舟山市科技局科技项目浙江省教育厅科研计划更多>>
相关领域：交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇交通运输工程

主题

  • 1篇翘曲度
  • 1篇光刻
  • 1篇CCD

机构

  • 1篇浙江海洋学院
  • 1篇浙江国际海运...

作者

  • 1篇祝贵兵
  • 1篇池弘福
  • 1篇吴剑锋

传媒

  • 1篇浙江海洋学院...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究被引量：1
2012年
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升降温速率、进出炉速率,使硅片翘曲度降低,线宽非均匀性由±4%降低到±2%。
祝贵兵池弘福吴剑锋
关键词：CCD翘曲度
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共1页<1>
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