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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇椭偏法
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学特性
  • 1篇A-SI
  • 1篇掺磷
  • 1篇H

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇蒋亚东
  • 1篇祁康成
  • 1篇匡跃军
  • 1篇廖乃镘
  • 1篇宋震
  • 1篇黄清海
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2007
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用椭偏法研究掺磷a-Si∶H薄膜的光学特性被引量:7
2007年
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用Tauc作图法推算出了薄膜的光学带隙。
匡跃军李伟廖乃镘蒋亚东宋震黄清海祁康成
关键词:椭偏法光学常数
共1页<1>
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