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黄清海
黄清海
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
电子科技大学光电信息学院
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相关领域:
理学
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合作作者
李伟
电子科技大学光电信息学院电子薄...
宋震
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廖乃镘
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匡跃军
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黄清海
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李伟
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半导体光电
年份
1篇
2007
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用椭偏法研究掺磷a-Si∶H薄膜的光学特性
被引量:7
2007年
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a—Si:H)薄膜。分别以50°和70°为入射角,测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱,得到了其膜厚和光学常数谱(折射率和消光系数随波长变化谱),并应用Tauc作图法推算出了薄膜的光学带隙。
匡跃军
李伟
廖乃镘
蒋亚东
宋震
黄清海
祁康成
关键词:
椭偏法
光学常数
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