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孟婷婷

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：渤海大学新能源学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧气
  • 1篇石墨
  • 1篇石墨烯
  • 1篇气相
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相沉积法
  • 1篇褶皱
  • 1篇刻蚀
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇化学气相沉积...

机构

  • 1篇渤海大学

作者

  • 1篇王桂强
  • 1篇王彬
  • 1篇孟婷婷
  • 1篇李成程

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学气相沉积法制备石墨烯晶畴的氧气刻蚀现象研究被引量：2
2017年
利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴,并对石墨烯晶畴进行氧气刻蚀。刻蚀完成后,利用光学显微镜和扫描电子显微镜观察到石墨烯晶畴表面的褶皱被刻蚀成网络状和短线状形貌的刻蚀条纹,并且刻蚀条纹的密度分布差异较大。通过电子背散射衍射测试证明了铜衬底的晶向与褶皱的形貌和密度分布有密切关系,不同的铜衬底晶向会影响褶皱的形貌和密度分布。通过改变刻蚀时间和刻蚀温度,发现刻蚀温度对石墨烯的氧气刻蚀具有更重要的影响,当刻蚀温度高于250℃时,刻蚀速率明显提高。这种氧气刻蚀方法,为观察石墨烯表面褶皱的形态和密度分布提供了一种便捷的途径。
王彬李成程孟婷婷王桂强
关键词：石墨烯化学气相沉积褶皱刻蚀
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共1页<1>
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