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曲锴

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术文化科学医药卫生电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 7篇原子层沉积
  • 7篇包覆
  • 4篇原子
  • 4篇前驱体
  • 4篇超声振动
  • 2篇电池
  • 2篇电池正极
  • 2篇电机
  • 2篇镀膜
  • 2篇镀膜设备
  • 2篇钝化
  • 2篇新能源
  • 2篇新能源材料
  • 2篇氧化锆
  • 2篇预分散
  • 2篇载气
  • 2篇真空镀膜
  • 2篇振动电机
  • 2篇正极
  • 2篇直线振动电机

机构

  • 17篇华中科技大学

作者

  • 17篇曲锴
  • 16篇陈蓉
  • 14篇单斌
  • 12篇刘潇
  • 10篇张晶
  • 6篇曹坤
  • 2篇段晨龙
  • 2篇李云
  • 2篇赵凯
  • 2篇朱倩倩

年份

  • 5篇2020
  • 7篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置
本发明属于真空镀膜相关技术领域，并公开了一种用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置，其包括载气及反应前驱体供给组件、反应腔体和超声振动组件，其中载气及反应前驱体供给组件为原子层沉积反应提供全区体反应物、载气和...
陈蓉刘潇单斌曲锴李嘉伟张晶
文献传递
一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法
本发明公开了一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法，其包括以下步骤：(1)将需要包覆的铝粉放入底部设有滤网的粉体夹持器中，然后将粉体夹持器放入原子层沉积反应器的腔体内进行抽真空；(2)对腔体进行加热，在加热过程中不断向腔体...
陈蓉曲锴单斌竹鹏辉段晨龙赵凯
一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备
本发明属于原子层沉积设备领域，并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备，包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓，进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室，纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散，与第一前...
陈蓉曲锴单斌李嘉伟张晶刘潇曹坤
文献传递
采用循环卷绕式原子层沉积设备提高电池稳定性的方法
本发明属于新能源材料领域，并公开了采用循环卷绕式原子层沉积设备提高电池稳定性的方法，循环卷绕式原子层沉积设备包括包括加热板、反应喷头组、驱动辊筒和伺服电机，该方法包括以下步骤：(1)将待沉积薄片绕过各驱动辊筒，再用胶布使...
陈蓉刘潇单斌曲锴朱倩倩李嘉伟
文献传递
一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备
本发明属于原子层沉积反应领域，并公开了一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备。设备包括进料装置、料槽、起振装置和反应装置，料槽一端的上方设置有进料装置，另外一端的上方设置有反应装置，起振装置与料槽相连，使得从进料装置进入料槽...
陈蓉曲锴单斌刘潇李嘉伟张晶曹坤
一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置
本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域，并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置，该装置包括颗粒容器和反应腔体，其中反应腔体的下端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管；反应腔体的上端开设...
陈蓉李嘉伟单斌刘潇曲锴张晶
微纳米颗粒的原子层沉积包覆研究及扩大化装备设计
微纳米颗粒具有比表面积大、表面能高等特性，使其在能源、航天和军事等领域有着广泛的应用。但同时微纳米颗粒也易受到环境中水分和氧气的氧化而失效。在微纳米颗粒表面包覆一层阻隔膜是提高微纳米颗粒稳定性常见的表面改性方法。原子层沉...
曲锴
关键词：原子层沉积氧化铝薄膜
一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备
本发明属于镀膜设备制造领域，并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备，该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连，组成一个封闭的椭圆形，其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一...
陈蓉曲锴单斌刘潇李嘉伟张晶
文献传递
一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆装置及方法
本发明公开了一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆装置，包括依次连接的第一、第二、第三及第四级管路单元；所述第一级管路单元用于提供第一前驱体(3)，并使第一前驱体(3)在纳米颗粒的表面完成吸附；所述第三级管路单元用于提供第二...
陈蓉巴伟明曲锴李云曹坤但威
一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备
本发明属于原子层沉积设备领域，并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备，包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓，进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室，纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散，与第一前...
陈蓉曲锴单斌李嘉伟张晶刘潇曹坤
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