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武晓玲

作品数：8 被引量：20H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信冶金工程一般工业技术更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
研究主题：数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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