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陈宝钦
作品数:
199
被引量:270
H指数:9
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
机械工程
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
刘明
中国科学院物理研究所
龙世兵
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
牛洁斌
中国科学院微电子研究所纳米加工...
赵珉
湛江师范学院信息科学与技术学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
共
9
条 记 录,以下是 1-9
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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研究领域
中国科学院
研究主题:催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
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北京师范大学物理学系
研究主题:黑洞 相对论 物理教学 广义相对论 物理学科
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所获资助
研究领域
中国科学院物理研究所
研究主题:超导体 磁性 X 锂离子电池 晶体结构
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研究领域
中国科学院光电技术研究所
研究主题:自适应光学 波前传感器 自适应光学系统 光刻 光学系统
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所获资助
研究领域
北京邮电大学应用科技系
研究主题:数值模拟 遗传算法 故障诊断专家系统 故障诊断 自学习
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中国科学院长春光学精密机械研究所
研究主题:软X射线 光学 光学系统 激光器 光栅
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所获资助
研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题:集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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