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许娜颖

作品数:2 被引量:5H指数:1
供职机构:河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金:天津市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
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