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刘凯

作品数：6 被引量：17H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金上海市人才发展基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术电气工程电子电信机械工程更多>>

合作作者

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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 力学性能 微电感 微陀螺
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 MEMS技术 微陀螺
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微陀螺 碳纳米管 微电子机械系统
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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